中古 SEZ / LAM RESEARCH DV-38F #9022266 を販売中
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販売された
ID: 9022266
ヴィンテージ: 2007
System, parts machine
Chemical supply module
Missing parts: robot, stage, computer
Type: CBM-Type B
Position 1: LD, ULD Ports
Robot (Transfer unit): RBT (RS-8240)
Ionizer: Controller model 5024
Position 2: Buffer station
Robot (Transfer unit): Dual ECO Gripper left/right
Robot arm: Al anodized
Ionizer: AeroBar model 5285 (e)
Horiba HF monitor CM-210
Position 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9: PMR1-PMR4, PML1-PML3
Robot (Transfer unit): Rear machine handling - (Twin ECO gripper)
Chamber material: PP
Chamber shape: Ring type
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chamber lower section: PP
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Chamber cleaning: DIW
Ionizer: QuadBar 4630-DS
ABB Protronic 500 Temp controller: in-line heater controller
Position 10: PML4
Robot (Transfer unit): Rear machine handling - (Twin ECO gripper)
Chamber material: PP
Chamber shape: Ring type
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chamber lower section: PP
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Chamber cleaning: DIW
Trebor 110R Pump
Entegris 0.03um Filter
Quickchange disposable filter QCDYATMTF Housing
Ionizer: QuadBar 4630-DS
Position 11: CHC1L
Chamber material: PP
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Siemens heater
Almatec chemical drain pump
Trebor 110R Pump
Entegris 0.03um Filter
Quickchange disposable filter QCDYATMTF Housing
Levitronix BPS-3 process supply pump
Position 12: CHC1L
Chamber material: PP
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Siemens heater
Almatec chemical drain pump
Levitronix BPS-3 process supply pump
Position 13:
Chamber chuck material: Chuck drive unit Al - anodized
Megasonic: Honda-Ultrasonic flow meter USF100A type
230 VAC, 1 P+N, 50/60 Hz
Max current: 2 A
Breaking capacity: 10,000 AIC
2005 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH DV-38Fは半導体産業のために設計された先進的な高性能エッチャー/アッシャーです。それは同じ容器の化学薬品および血しょう処理機能を両方提供する十分に統合されたasherです。これにより、エッチャー、アッシャー、または広範囲のアプリケーションの両方として操作することができます。精密成膜制御とエッチング機能の均一性により、サイクルタイムが速いハイエンドエッチャー/アッシャーです。オゾンベースのプラズマとエネルギーイオン爆撃を使用して、極めて精度の高いターゲット材料を正確にエッチングします。複雑な3Dジオメトリと非常に薄いフィルムの両方で動作します。SEZ DV-38Fのユニークな設計は、モジュール式のマルチロールコンセプトを備えており、各モジュールを単独でスタンドアロンユニットとして使用するか、複雑な構成で他のモジュールに接続してより特殊なアプリケーションに使用することができます。そのパワフルで汎用性の高い機能により、金属酸化物、シリコン、化合物窒化物、ポリシリコンなど、さまざまな材料を処理することができます。エッチャー/アッシャーは、金属酸化物、化合物窒化物、タングステン、ポリシリコンを大量に製造するための理想的なツールです。オンボードデリバリーシステムにより、これらの材料は1つのステップで同じプロセスサイクルでさらに処理され、生産スループットが向上します。エッチャー/アッシャーには最大4つのアンチカンバードアがあり、処理中の汚染を防ぐために開閉することができます。さらに、人員や処理中のデバイスに害を及ぼさないよう、幅広い安全機能を備えています。LAM RESEARCH DV-38Fは、大きな生産スループットを維持しながら優れた結果を出すことができるトップエンドエッチャー/アッシャーです。高度な精密制御と効率的なプロセスサイクルにより、高度なエッチャー/アッシャーをお探しの方に最適なツールです。
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