中古 SEZ / LAM RESEARCH DV-38DS #9054505 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH DV-38DSは、優れた費用対効果の高いエッチング/アッシング性能を提供するデュアルウェーブ、高速、マルチチャンバーエッチャー/アッシャーです。高度な材料加工エッチャー/アッシャーに指定されているSEZ DV-38DSシリーズは、生産および研究開発ラボに最適です。LAM RESEARCH DV-38DSシリーズは、垂直方向と接線方向の両方のエッチング/アッシング波を利用して、各バッチに高い均一なエッチング/アッシング動作プロセスを提供します。最先端の熱管理と高度な冷却技術により、プロセスの再現性と均一性を最大限に高めます。DV-38DSシリーズは、1つまたは2つのチャンバーシステムを備えた2つの構成で提供されます。これにより、各チャンバーに複数の材料を持つ部品の独立したエッチング/アッシングが可能になり、便利で連続的な動作を保証します。高速動作と最適化されたチャンバ設計により、プロセスのスループットが向上し、サイクル時間が短縮されます。SEZ/LAM RESEARCH DV-38DSは、金属、酸化物、ポリマーなどの材料の精密エッチング/アッシングの高度な制御を特長としています。これには、温度、ガス混合、圧力、およびチャンバーサイズを制御し、最高の精度と再現性を実現する機能が含まれます。SEZ DV-38DSには、一貫したプロセス結果を保証するための包括的なプロセス監視システムが含まれています。LAM RESEARCH DV-38DSシリーズには、高密度プラズマ（HDP）エッチング/アッシングプロセス用のRFソースも含まれています。HDPエッチング/アッシングは、高品質の表面仕上げと高いエッチング/アッシング速度を可能にします。DV-38DSシリーズはまた、HDPプロセス中に堆積ガスを混合する機能を提供し、マルチコンポーネント堆積物を可能にします。SEZ/LAM RESEARCH DV-38DSシリーズはユーザーフレンドリーに設計されており、プロセス設定と結果をグラフィカルに表示して簡単に監視できる直感的なオペレータインターフェイスを備えています。また、プロセス履歴、アラーム、エッチング/アッシングプロファイルなど、幅広い診断診断機能を備えています。SEZ DV-38DS Etcher/Asherシリーズは、高度なエッチング/アッシングソリューションの究極です。操作が簡単なLAM RESEARCH DV-38DSは、生産および研究開発ラボ向けに優れたエッチング/アッシング性能を提供します。高度な制御とプロセス監視により、オンデマンドで再現可能な精度と信頼性を必要とするユーザーに最適です。