中古 SEZ / LAM RESEARCH DV-38DS #9040754 を販売中
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タップしてズーム
販売された
ID: 9040754
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
Wet station, 12"
Frontside handling
(8) Chambers
Number of chemistry: 1
Operator cassette loading
Overhead transport system (OHT)
Through the wall
Front machine section:
Robot & controller
Main PC condition
Hard drive for IC/TC
Front FFU
Buffer station
(3) Load ports
Load port access: Light curtain
Asyst ISO port
Carrier ID reader
Asyst Advan-Tag
E 84 Parallel I/O
Front handling system: ECO end-effector, ceramic
Rear machine section:
ECO
FFU
Control cabinet
Left process section
(3) PSL: Process chamber, Chuck, Spindle unit, Dispenser motors
(1) PSL: Process chamber, Chuck, Spindle unit, Dispenser motors, Regulators, MFCs, Pump valve and chemistry lines
Right process section
(3) PSR: Process chamber, Chuck, Spindle unit, Dispenser motors
(1) PSR: Process chamber, Chuck, Spindle unit, Dispenser motors, Regulators, MFCs, Pump valve and chemistry lines
Components included
ATMI
AC Rack
DVR
Exhaust line kit
IPA module
Liquid Chemistry cabinet 1:
Media 1 supply: Filtration system and sampling port
Buffer option A1: Medium, PZ10 spiking pump
Buffer option B1: No medium
Paddle wheel
DI water
Inline cooler for temperature control
Flowmeter
Liquid Chemistry cabinet 2:
Media 2 supply: Medium / Temperature
Buffer option A2: Medium, PZ10 spiking pump
Buffer option B2: No medium
Paddle wheel
Horiba CM-210 chemical analyzer: (2) Process loop, (2) Preparation loop
Flowmeter for DI water
Gas supply
CO2 Injection: No
Overall features:
White light
Transparent windows
Transformer 208V/400V CE
Frame
Leak sensor box
Submodules:
Process chamber display
Digital video recording
Currently de-installed
2006 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH DV-38DSは、エッチャー/アッシャー装置であり、フォトレジストやその他の様々な基板上の残留物をエッチングおよびアッシングするために特別に設計されています。SEZ DV-38DSシステムは、低温プロセスと短い処理時間で、高速で高精度のエッチングとアッシングを提供します。LAM RESEARCH DV-38DSユニットは、エッチングに化学反応イオンなどの最新の半導体技術、アッシングにはランプやレーザー源を使用しています。4インチから12インチまでの幅広いウエハサイズの処理が可能です。この機械は、シリコン、酸化物、金属、セラミックスなどのさまざまな基板に均一で高品質なカバレッジを提供するように設計されています。ツールDV-38DS、ツール自体と関連する制御アセットの2つの部分で構成されています。このツールは、使いやすさと効率的な操作のために設計されたコンパクトで完全に自動化されたモデルです。ウェーハの積み降ろし用の高性能フィーダ、フォトレジストなどのエッチング用の高性能エッチングチャンバー、層を融合するためのアッシングチャンバーが含まれています。エッチングチャンバーとアッシングチャンバーには、高度な熱制御システムが装備されており、最適な処理結果と均一なカバレッジを保証します。制御装置はSEZ/LAM RESEARCHのDV-38DSシステム上の精密な制御をユーザーに与えるように設計されています。このユニットには直感的なユーザーインターフェイスが装備されており、ユーザーは数回クリックするだけでプロセスを変更できます。ユーザーインターフェイスにより、ユーザーはマシンをセットアップし、ツールのステータスをリアルタイムで確認できます。さらに、制御アセットをリモートコンピュータにリンクすることができ、モデルの診断データに簡単にリモートアクセスできます。SEZ DV-38DS装置は、低容量と大容量の両方の操作のために設計されています。高度な制御システムは、さまざまな処理タスクに合わせて簡単に変更できます。また、オペレータや機器の安全を確保するために、緊急時の遮断などのさまざまな安全機能を備えています。全体として、LAM RESEARCH DV-38DSは、フォトレジストやその他の様々な基板上の残留物をエッチングおよびアッシングするために特別に設計された高度なエッチャー/アッシャーマシンです。高度な制御ツールにより、正確な制御が可能であり、直感的なユーザーインターフェイスにより、セットアップと操作が容易になります。アセットの安全機能により、オペレータや機器の安全性が確保され、高性能フィーダによりウェーハの効率的な積み降ろしが可能となり、さまざまなエッチングおよびアッシングプロセスにDV-38DS最適です。
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