中古 SEZ / LAM RESEARCH DV-38 #9276819 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH DV-38は、強力で高度なマイクロパターンを生成するためのフォトリソグラフィに使用される高解像度エッチャーとアッシャーです。半導体製造では、電子信号を生成する部品であるトランジスタを作成するために使用されます。このカセット・ツー・カセット装置は、最大200mmのウエハを一気に加工することができます。これは、プロセス全体にわたってウェーハの正確なアライメントと動きを提供するための6軸ステージを持っています。さらに、プラズマ配信の最新技術と最高の真空システムの1つが付属しています。このシステムは、クリーンで微粒子のフォトレジストを提供することができます。SEZ DV-38にはクライオポンプ式の真空ユニットが装備されており、プロセス全体でウェーハへの低汚染を保証します。また、ガスインジェクションの自動チューニングや高精度ガスミキシングも付属しています。このエッチャーとアッシャーは、光学的に深い部品の生産を容易にすることができる長距離ソース制御も備えています。プロセス制御の面では、この機械はエッチングとパタリングのプロセスを非常に正確に制御します。LAM RESEARCH DV-38を使用する主な利点には、短いサイクル時間と非常に高解像度の結果が含まれます。これにより、マイクロエレクトロニクス部品を扱う場合など、要求の厳しいプロジェクトを扱うための理想的なソリューションとなります。また、幅広い素材に対応しているため、さまざまな用途での作業に最適です。さらに、レイヤー間のアライメント、立体エッチング機能、複数のレイヤーを同時に処理する機能を備えています。要するに、DV-38はフォトリソグラフィックパターンを生成するための高度なエッチャーとアッシャーです。その特徴は精密さと清潔さを提供しますが、さまざまな素材との互換性により、広範囲に使用するのに理想的です。その短いサイクルタイムはまた、プロジェクトの最も要求の厳しいに適しています。