中古 SEZ / LAM RESEARCH DV-38 #9098878 を販売中
この商品は既に販売済みのようです。下記の同じようなプロダクトを点検するか、または私達に連絡すれば私達のベテランのチームはあなたのためのそれを見つけます。
タップしてズーム
販売された
ID: 9098878
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
Etchers, 12"
Power: 400VAC / 3P+N , 63A, 50 / 60Hz
General data
Equipment platform:
(8) Chambers
Handling: Sankyo frontside
(1) Chemistry
Cassette loading:
Operator: Yes
Overhead transport system (OHT): Yes
Fab layout:
Through the wall: Yes
Front machine section:
Front frame:
(3) Load ports
Front section:
Robot & controller
Robot end effector
Main PC
Front FFU
Buffer station
Rear section:
General data for chemical blend module (CBM)
Material: FM-complaint (Mat.: PVDF)
Door hinges: Left
Position of CCC, UPS for CCC and hand shake box: Left
Position of monitor & keyboard: Left
Position of the CBM Type B: Seperate
CBM Type B connected to system: DV38F
Rear section:
ECO
FFU
Control cabinet
Process section Left:
PSL 1:
Process chamber
Chuck
Spindle unit
Dispenser motors
PSL 2:
Process chamber
chuck
Spindle unit
Dispenser motors
PSL 3:
Process chamber
chuck
Spindle unit
Dispenser motors
PSL 4:
Process chamber
chuck
Spindle unit
Dispenser motors
Gas facility box:
Regulators & MFC's
CDS:
Pump,valves, chemistry lines
General data for chemical blend module (CBM):
Material: FM-complaint(Mat.: PVDF)
Door hinges: Right
Position of CCC, UPS for CCC and hand shake box: Right
Position of monitor & keyboard: Right
Position of the CBM Type B: Seperate
CBM Type B connected to system: DV38F
Process Section Right:
PSR 1:
Process chamber
Chuck
Spindle unit
Dispenser motors
PSR 2:
Process chamber
chuck
Spindle unit
Dispenser motors
PSR 3:
Process chamber
chuck
Spindle unit
Dispenser motors
PSR 4:
Process chamber
chuck
Spindle unit
Dispenser motors
2006-2007 vintages.
SEZ/LAM RESEARCH DV-38は、一貫した高品質の加工結果を提供する耐久性と信頼性の高いエッチャー&アッシャーです。この機器は、シングルまたはデュアルチャンバー構成で提供され、自動または手動のウェハーマウント機能を備えています。高速リニアモータで駆動する3インチウェーハチャックを搭載。チャックは水平、垂直、双方向の移動が可能で、ウエハー間ギャップ0。005〜0。400の最適なエッチング/アッシングプロファイルを提供します。SEZ DV-38は、正確なウェーハ位置決めのためのクローズドループサーボツールを備えたデジタルウェーハポジショニングマシン（DWPS）を内蔵しています。ウェーハ温度測定、チャンバー圧力、レシピ管理を含む、統合されたプロセス制御および監視資産を備えています。このモデルにはオプションの温度およびフローコントローラが装備されているため、精密な処理条件とプロセスパラメータの厳密な制御が可能です。LAM RESEARCH DV-38は、標準および探査ウェーハの迅速かつ正確な処理を提供するように設計されています。直感的なオペレータインターフェイスにより、迅速なセットアップと操作が可能で、装置はプロセスパラメータに直接アクセスできるように設計されています。このシステムは拡張性があり、レジストストリップや平面化システムなど、さまざまな周辺機器に対応できるように設計されています。オプションの高圧および低圧構成により、ハイレートプロセスで最大10 torrの過圧を可能にします。DV-38は半導体ウェーハ加工用に設計されており、高性能なエッチングおよびアッシングプロセスを提供することができます。これは、実験的な処理とプロセス開発のための堅牢なプラットフォームを提供し、バッチまたは連続プロセスモードで実行することができます。単位は取付け、維持し易く、一貫した、反復可能な結果を提供できます。
まだレビューはありません