中古 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #9351032 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH DV-34は、高度な半導体デバイスの製造用に設計されたエッチャーまたはアッシャーです。この装置は、強力なイオンビーム蒸着源とプログラム可能な位置精度を備えており、プロセスの一貫性と均一性を保証します。また、プロセスパラメータを動的に調整することにより、優れたスループット、高密度プラズマエッチング、低粒子生成を提供するように設計されています。SEZ DV-34は、DC、 RF、および熱プロセスを使用して、複雑なパターンを高速かつ高解像度でエッチングする完全自動化システムです。高度なビームフォーカス成膜、エネルギッシュなイオンビームエッチング、正確な位置制御により、フルウェーハの均一性を実現しています。独自のアーキテクチャは、生産ニーズに対応しながら、ダウンタイムを最小限に抑えるために統合された制御と自動化を備えています。また、半導体デバイスの生産にも幅広い機能と利点を提供しています。すぐに使用できる基板レシピは、セットアップ時間を最小限に抑えて信頼性の高いエッチング結果を提供します。モジュラー設計により、さまざまな材料にわたる柔軟なプロセス開発と実装が可能になります。また、優れた均一性とウェーハ登録機能を提供します。また、他のモデルと比較して流動性が若干高く、高効率で費用対効果に優れています。最後に、LAM RESEARCH DV-34は、実績のあるパフォーマンス、ダウンタイムの短縮、生産性の最適化により、ツールの可用性と堅牢性を最大化するように設計されています。また、アークや放電電圧に対する保護や、粒子発生を低減するためのイオンシェイクオフ機能を内蔵するなど、さまざまな安全機能にも対応しています。信頼性と一貫した生産パフォーマンスを確保するために、アセットには高速フォルト検出およびリカバリ機能も搭載されています。