中古 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #9267768 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH DV-34は、自動化された2温度配信装置を使用して基板を迅速かつ確実に処理するように設計された精密アッシャー/エッチャーです。このユニットの包括的な設計は、エッチング、エッチングによるTMR、デュアルダマシン、ゲートエッチング、ハードマスクエッチング、層間誘電除去、ウエハバックサイドエッチング、等方性エッチングなどのアプリケーションに標準的な性能を提供します。このユニットは、処理の信頼性とスループットを向上させるために、デュアル温度配信システムを備えています。2つの温度ストリームは、理想的なエッチングまたはクリーンレシピを達成するために独立してプログラム可能です。これは、上部と下部の両方のプラテンのためのユニークな熱交換器を使用して行われます。SEZ DV-34エッチャー/アッシャーユニットには、洪水冷却機も含まれています。冷却ツールは、基板表面をより速い速度で均等に冷却するように設計されています。これにより、より高い精度のエッチングとクリーンなレシピ、および歩留まりの向上が可能になります。LAM RESEARCH DV-34にはプロセスガス管理資産があります。このモデルは、酸素、塩素、その他の腐食性ガスなどのプロセスガスの精密な調節を可能にします。この装置は、レシピを簡素化し、プロセスの純度と制御を向上させるのに役立ちます。このシステムのチャンバーレトロフィットは、ホットウォール設計によりチャンバーの完全性を犠牲にすることなく迅速なレトロフィットを可能にするため、迅速かつ簡単です。DV-34のこの機能は、改装コストの削減にも役立ちます。現場のプロセステックは、このチャンバーでプラズマ診断とプロセス開発を容易に行うことができます。さらに、SEZ/LAM RESEARCH DV-34は一連の統合されたコントローラーおよびインターフェイスによって動力を与えられます。これには、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス、レシピエディタ、高度な統計処理制御機能など、さまざまな制御オプションが含まれます。これらの機能は、歩留まりの向上とプロセスの簡素化に貢献し、高い工具生産性のためのプロセスの安定性を向上させるように設計されています。最後に、このユニットは、プロセス洗浄とパージのレシピの選択で優れた長期的なプロセスの安定性を可能にします。パージレシピは、汚染を低減し、エッチングプロセスの効率を向上させるのに役立ちます。これにより、エッチングプロセスが設計どおりに機能していることをオペレータに保証することができます。結論として、SEZ DV-34は汎用性が高く、効率的で信頼性の高いエッチャー/アッシャーマシンです。そのデュアル温度配信と洪水冷却システムは、均一性と基板精度の向上を保証します。さらに、インテリジェントなソフトウェアと堅牢なプロセスガス管理により、最適な歩留まりのための優れた長期的なプロセス安定性を確保します。