中古 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #9224050 を販売中

SEZ / LAM RESEARCH DV-34
ID: 9224050
ウェーハサイズ: 12"
Single wafer etcher, 12" (4) Chambers.
SEZ/LAM RESEARCH DV-34は、半導体産業の高い需要を満たすためにSEZによって設計および製造された高度なエッチャーおよびアッシャーです。複数のプロセスモジュールをサポートするエッチング/アッシュプラットフォームで、ユーザーはアプリケーションニーズに合わせてテクノロジーを混在させることができます。プロセスモジュールは、ディープシリコンエッチング、シリコンセレクティブエッチング、SiGeセレクティブエッチング、スパッタ、拡散、酸化エッチング、メタルエッチングに対応しています。SEZ DV-34は、モーションコントロール、プロセス分析技術、プロセスオートメーションなど、最先端のプロセス制御技術を備えたインテリジェントツールです。ユニバーサルプラットフォーム、診断用のネットワーク接続、プログラム可能なプロセスパラメータセットポイント、カスタマイズ可能なレシピ、および温度制御ハードウェアコンポーネントを組み込んで、正確で繰り返し可能な材料処理を保証します。LAM RESEARCH DV-34は、ユーザーが特定の製品製造ニーズを満たすようにツールを構成できるデュアルチャンバー設計を備えています。インジウムエンドポイントセンシング(IEC)技術と高度なデジタル真空制御(DVC)により、チャンバー圧力、温度、プロセス時間などのパラメータを正確に制御できます。DV-34の機能には、統合されたウェーハハンドリングも含まれており、最大限の柔軟性を実現します。LAM RESEARCH/LAM SEZ/LAM RESEARCH DV-34は、高スループット環境での使用に最適で、サイクル時間の短縮と歩留まり率の向上を実現します。その幅広いプロセス能力は、研究開発から生産まで幅広いユーザーにとって魅力的です。SEZ DV-34は、ICおよびMEMSメーカーに最適なソリューションです。これは、ユーザーに最大限の柔軟性とプロセス制御を与えるように設計された強力なエッチング/アッシュプラットフォームです。その高度な機能、信頼性の高いプロセス結果、堅牢な設計は、最高の歩留まりと最高の精度で製品を提供するために必要な信頼性の高い性能を提供します。
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