中古 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #9224049 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH DV-34は、さまざまな半導体加工および製造タスク向けに設計された高度なボックスアッシャー/エッチャーです。SEZ DV-34は、シリコンおよびIII-Vベースのデバイスの両方を処理およびエッチングすることができ、幅広い産業用途に適しています。LAM RESEARCH DV-34は、ユニークな機能と構造により、効率的で信頼性の高いエッチャーとアッシャーです。それは使用される材料の量を減らし、装置の収穫を高める縦の構成の水晶管と組み立てられます。石英チューブは、多数の大容量ガスバーナーによって加熱され、さまざまなセンサーによってサンプリングされます。これらのセンサは、最適なアッシングおよびエッチング条件を確保するために、チャンバーの環境の温度およびその他の特性を測定します。内部チャンバーには導電性材料が並んでおり、チャンバー全体の均一な温度分布を確保しています。これにより、不要なアークを防ぎ、エッチング処理の効率と精度を向上させます。DV-34はまた、処理中の正確なプロセス制御のために窒素と酸素灰の流れを調整する高圧ガス制御システムを備えています。SEZ/LAM RESEARCH DV-34には、冷間試験用のプレチャンバー、反射防止コーティング、アウトガス防止用のトリプルウォール構造、緊急時にシャットダウンする圧力センサーなど、さまざまな統合安全メカニズムが搭載されています。SEZ DV-34は、ユーザーが最も正確な結果のためにプロセスパラメータをカスタマイズしてプログラムすることもできます。ユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えた強力な制御システムと、サイクル温度、圧力、ガスの流れなどのプロセスパラメータを変更できる使いやすいソフトウェアパッケージを備えています。また、業界標準のさまざまなセンサー、モニター、タイマー、ソフトウェアなどと互換性があり、完全なプロセス制御が可能です。全体として、LAM RESEARCH DV-34は、最新技術を搭載した強力で信頼性の高いボックスアッシャー/エッチャーです。それは非常に効率的であり、正確で反復可能な結果を提供します。その様々な安全機能と強力な制御システムは、半導体製造を含むあらゆる産業作業に最適です。