中古 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #9211222 を販売中

SEZ PV-34は、さまざまな高度な半導体製造用途に使用されるエッチャー/アッシャーです。この装置は、高度なプラズマエッチングと液体プラズマアッシングを組み合わせ、あらゆるタイプの半導体材料を正確かつ効率的にエッチングします。このPV-34は、優れたエッチング性能を提供し、基板上の回路デッキのサイズ、形状、およびパッシベーションを非常に厳密に制御することができます。このPV-34は、圧力、温度、ガス混合物などのプロセス変数を考慮して、エッチング処理をリアルタイムで適応的に調整できるユニークな設計です。これにより、複雑な形状のエッチング形状とプロファイルを厳密に制御しながら、優れた均一性を提供し、処理時間を短縮し、表面品質と再現性を厳格に維持します。このシステムには、利用可能な最先端のプラズマおよび液体エッチング技術が完全に組み込まれており、プラズマ密度と均一性を制御するための大量の送りガス速度が含まれています。さらに、このユニットには、正確な温度、圧力、電源設定、および特定のタスクにエッチングプロセスを適応させるための制御スイートが装備されています。PV-34には、警告メッセージやアラームメッセージ、完全なデータストレージ、ウェーハを素早くツールから出し入れできるようにするテイクアップリール、リアルタイムロギングアセットなど、機械の操作とメンテナンスを支援するさまざまな機能が装備されています。さらに、このモデルは、直感的なユーザーインターフェイスと柔軟なレシピビルディングツールを通じて、完全なプロセスを自動化して実行できることを保証します。このツールを使用すると、レシピ（簡単なエッチングから複雑なパターンまで）を作成して繰り返し使用することができ、効率が向上します。これらの特徴は、多種多様な半導体材料を正確にエッチングおよびアッシュする能力と組み合わされ、PV-34は高度な半導体製造ニーズに対して費用対効果が高く信頼性の高い選択肢となります。