中古 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293758354 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH DV-34は、半導体製造に関連する多種多様な加工工程に精密で再現性のある結果を提供する革新的なエッチングおよびアッシング装置です。システムのチャンバーは、直径40cmの高さ1。2mのコンパクトなシリンダー形状のデザインです。小規模なバッチを処理するためにカスタマイズされているため、プロトタイプ開発や研究室に最適です。また、大量の生産作業にも対応可能です。SEZ DV-34は、圧力、温度、ガス制御を備えており、シリコン、ヒ素ガリウム、窒化ガリウム、アルミニウムなど、さまざまな材料の精密エッチングとアッシングを可能にします。単位の圧力は5から20 Torrの範囲および0。02 Torrの変動の限界と容易に制御可能です。また、リアクター傾斜角度調整機能を備えているため、ユーザーはエッチング速度を正確に制御するだけでなく、レシピマッチングのための完全に統合されたゲートバルブを使用することができます。このツールはさらに、アルゴン、酸素、CF4/CHF3、 NF3、およびCl2を含む複数のガス源をサポートしています。入口（Iタイプ）と出口（Fタイプ）のガス監視用のラインガスフローモニターを備えています。また、キャリアマスフローレートモニター/メーター、ゲートバルブ圧力モニター、ヒーターアセンブリの圧力制御測定など、さまざまなセンサーを備えています。LAM RESEARCH DV-34のプロセス制御ソフトウェアは直感的でユーザーフレンドリーで、他のレシピを管理するためのレシピライブラリがあります。これは、最大200レシピと最大2,000データポイントを格納する機能を備えたデータロギングアセットを備えています。最大20個のパラメータをリアルタイムで同時に監視できます。強力なソフトウェアにより、効果的なモデル監視、キャリブレーション、およびプロセス制御がさらに可能になります。全体として、DV-34は強力で正確で信頼性の高いエッチングおよびアッシング機器であり、ユーザーがシステムから最大限に活用できるようにさまざまな強力な機能を提供します。研究室、開発室、大量生産に最適です。