中古 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293754186 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH DV-34は、半導体アプリケーションに使用されるエッチャー/アッシャーです。エッチング、アッシング、クリーンスパッターエッチングなど、さまざまなプロセスのための完全に統合された自動化されたソリューションです。この装置は、実績のある100％シングルおよび両面精密エッチング/アッシング技術を使用しており、信頼性の高いハードウェアおよびソフトウェアプラットフォームを備えています。SEZ DV-34には1000 Wの電子ビームソースが搭載されており、片面および両面のエッチング/アッシングを実行できます。システムが提供する熱アニーリング機能により、シリコンベースの材料に適しています。このユニットの設計と高スループットにより、半導体産業の高度な大量製造およびアプリケーションに最適です。さらに、このマシンには精密な制御ツールが装備されており、プロセスパラメータを正確に制御できます。アセットのインテリジェント監視機能により、エッチング/アッシング前に基板の欠陥を検出し、時間とコストを節約できます。プロセスは、より正確な制御のためにエッチングパラメータを調整するオプションで、ユーザーのニーズに合わせて調整することができます。インタラクティブなプロセス制御ソフトウェアも含まれており、詳細なプロセス情報をリアルタイムで提供します。このソフトウェアは、ユーザーがエッチング/アッシングプロセスが目的のアプリケーションに最適化されていることを確認できるように、自動キットレイアウトを作成します。ソフトウェアのデータ分析機能により、ユーザーはプロセスデータを分析し、プロセスが目的のアプリケーションに最適化されていることを確認できます。また、デュアルチャンバー設計により、複数のエッチング処理を同時に行うことができます。これにより、複数のスタンドアロンシステムが不要になり、大規模な生産に特に適しています。デュアルチャンバー設計により、エッチングの均一性を最大化し、基板間の差異を最小限に抑えます。この装置は、SEMI規格200に準拠するように設計されており、幅広いProber互換の治具を備えているため、幅広い顧客の機器と互換性があります。このシステムには、広範な生涯保証が付属しており、サポートと安心を保証します。結論として、LAM RESEARCH DV-34 etcher/asherは高度で完全に統合されたユニットであり、環境への影響を最小限に抑えた精密エッチング/アッシング操作を提供します。このマシンには、強力な電子ビームソース、正確な制御機能、リアルタイムデータ分析機能が装備されているため、大規模で複雑なアプリケーションに適しています。このツールのデュアルチャンバー設計、Prober互換の治具、および寿命保証により、さまざまなエッチング/アッシングプロセスに対して信頼性の高いソリューションとなります。