中古 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293754183 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH DV-34 etcher/aserは、ボリュームおよびPMLクリーン生産アプリケーション向けに設計された強力で信頼性が高く、コスト効率の高いドライエッチング装置です。このシステムは、最適化されたプラズマ均一性によって達成される優れたエッチング品質と均質性を提供します。それはすべてのエッチング工程で優れており、酸化物、窒化物、ポリイミド、およびタングステンやアルミニウムを含む金属にも適しています。汎用性の高いツールセットは、文字列、スロット、ポストなどの正確なトポグラフィー機能のエッチングも可能です。この高度なドライエッチャーは、0〜750ºCの温度範囲で、酸素、塩素、フロルシラン、および炭素テトラフルオリドを含む複数のエッチング化学物質で動作することができます。このユニットは、必要に応じてエッチングを変更するためのカスタマイズ可能なトップダウンとボトムアップのプラズマ制御を備えた高出力RFを備えており、プラズマ均一制御のための使いやすい遠隔操作コンソールが装備されています。オプションのタイトベローズクォーツシングルウェーハプレゼンスセンサーと自動化された排気により、コストとランニングの効率が向上し、一貫性のあるエッチングハウス性能を維持します。SEZ DV-34 etcherは、最小限のメンテナンスで最大の稼働時間と最高の信頼性のために構築された広範なハードウェア冗長性で設計されています。3G/4G/5G Plasmalabチャンバーは、1つの負荷で数十のウェーハを洗浄するために設計されており、優れた温度均質性を提供することができます。堅牢で繊細なPECVDフィルムと互換性があり、オプションのBPSGインターレベルサポートで提供されます。また、統合された熱/地図ベーキステージを備えており、プロセスの強化と温度均一性制御のための超薄型ホットプレートを備えています。エッチャーは、厳格な輸出管理規制に準拠するように設計されており、精度と再現性を確保するための多数のプロセス検証オプションが含まれています。また、革新的なウェーハトラッキングマシンを搭載しているため、ユーザーはウェーハをすばやく見つけることができます。単位全体はプロセス制御を高めるために高いサイクル・ツー・サイクルの安定性テストに服従します。LAM RESEARCH DV-34は強力なドライエッチャーで、要求の厳しいエッチングとクリーンな生産リスクに最適なソリューションです。高いプラズマ均一性、優れたエッチング品質、均質性、および稼働時間と信頼性を確保する広範なハードウェア冗長性を備え、堅牢でコスト効率に優れています。また、輸出規制に準拠するように設計されており、革新的なウエハトラッキングツールが装備されています。