中古 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293754182 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH DV-34は、広い領域に精密エッチングを必要とするプロセス用に設計されたエッチャー/アッシャーです。特に半導体ウェーハ、金属、ガラスエッチング用途向けに設計されており、厳密な許容精度を確保しながらプロセス時間を短縮するのに役立ちます。これは、複数のプロセスモジュールを含むユニークな設計によって可能になり、それぞれにプロセススラリーまたは有機/水性化学物質用の「リング」供給装置があります。これは、処理されているウェーハや他の材料の全領域にわたって安定した均一な方法で化学物質を供給するのに役立ちます。リング供給システムにより、SEZ DV-34は従来のシステムよりも最大40％高速なプロセス時間を達成できます。また、高品質のマイクロファブリケーションに不可欠なプロセス制御と再現性を確保します。広い領域を処理できるため、エッチャーは基板表面全体にわたって均一性を通じて材料エッチングを最適化することができます。さらに、このユニットにはエンドポイント検出機能が自動化されており、プロセス全体のエッチング進行を正確に監視できます。このマシンには、排気や交換可能なガスラインを調整する機能などの自動化された機能が含まれており、すべてがプロアクティブにエッチプロファイルを最適化することができます。このツールは、ケイ酸塩沈着やその他のパラメータの変動を最小限に抑えながら、プロセス全体で一貫したスラリーを保証します。また、排気フィルター資産とクローズドループ環境による汚染を最小限に抑えることができます。全体的に、LAM RESEARCH DV-34は、広い基板領域で最高品質のエッチング処理を実現するために特別に設計された汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。基板全体に均一で最適化されたエッチングを提供できるため、厳しい許容精度と再現性を必要とするマイクロファブレーションに最適です。このモデルは洗練されたコンポーネントを使用しており、プロセス全体で信頼性と一貫したパフォーマンスを保証します。そのため、精密なプロセス制御を必要とするエッチングプロセスには有効な選択肢です。