中古 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293754180 を販売中
URL がコピーされました!
ID: 293754180
ウェーハサイズ: 8" - 12"
ヴィンテージ: 2007
Single wafer etcher, 8" - 12"
(4) Chambers
2007 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH DV-34は、高性能で先進的な材料の製造に使用できる最先端のエッチャー/アッシャーです。有機材料と金属材料の両方の処理に最大限の柔軟性と性能を提供するように設計されています。SEZ DV-34エッチャー/アッシャーは、高抵抗の石英チューブと炉、自動ガス供給装置、および精密制御されたエッチング/灰システムで構築されています。クォーツチューブと炉は優れた断熱材で構成されており、効率とプロセスの再現性を向上させます。エッチング/アッシュマシンは、プログラム可能な静電容量連結モメンタリーを使用して微細な制御を提供します。これにより、エッチング/アッシュプロセスは非常に正確で再現性があります。LAM RESEARCH DV-34は、高圧反応イオンエッチング(RIE)機能も備えており、生産者はより厚く、より硬い材料を高精度にエッチングすることができます。これは、微細なN-形状、薄い壁、またはその他の詳細な機能を備えた部品を製造する場合に便利です。また、窒化物、ポリシリコン、アモルファスシリコンなどのエッチングも可能です。DV-34エッチャー/アッシャーには反応性ガス活性化も付属しており、エッチングのプロセス速度と均一性を向上させるのに役立ちます。この技術は、エッチング工程で発生する表面粗さや廃棄物の量を削減するのにも役立ちます。さらに、SEZ/LAM RESEARCH DV-34には、多数の高度な監視および診断ツールが装備されています。これらには、オーディオビジュアルディスプレイ、温度制御、寸法輪郭化機能、および最適なエッチング/アッシュプロセスの再現性と歩留まりを確保するためのプロセスパラメータートレンドモニタリングが含まれます。このetcher/asherは商業生産およびR&Dの実験室の使用のために完全です。基板、ウェーハ、パネルを含む複数のフォーマットの先端材料の加工に最適です。SEZ DV-34はまさにエッチングとアッシングプロセスのためのゴールドスタンダードです。
まだレビューはありません