中古 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293652633 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH DV-34は、有機および無機材料の効果的かつ均一な材料除去を提供する先進的なプラズマエッチャー/アッシャーです。多様な用途に対応する汎用性、費用対効果、信頼性の高いエッチングソリューションです。エッチャーの独特な設計はユーザーがさまざまな材料のエッチング率を調節することを可能にします。このユニットには7。6インチの広いチャンバーが装備されており、複数のピースを同時にエッチングすることができます。ユニットはまた、追加の治具を必要とせずに均一なエッチングを提供する穴あきホルダーアセンブリを備えています。スパイラルフローガス搬送システムは、エッチチャンバーを介して所望のエッチング化学の連続的な均一な流れを作成します。Septumless設計により、エッチングチャンバーからの潜在的な汚染源が排除され、最大10〜4トーラーの動作が可能です。SEZ DV-34は、ユーザーの安全を考慮して設計されており、真空の安定性を向上させる2つの真空ポンプが含まれています。さらに、チャンバー内のウェハモーションシステムは、過熱を防ぎ、繊細な基板に害を及ぼす可能性があります。ウェハモーションシステムは、温度勾配によるエッジ効果を排除します。さらに、LAM RESEARCH DV-34には、ユーザーが簡単にエッチング処理をプログラムして監視できる包括的なタッチスクリーンインターフェイスが装備されています。タッチスクリーンでプロセスをプログラミングすることは簡単で直感的であり、幅広いカスタムパラメータとプログラマブルエッチングレシピを可能にします。ユーザーは、いくつかの選択可能なプロセスレシピから選択し、エッチング時間をカットし、エッジ効果を排除することができます。全体として、DV-34は高度で信頼性の高いエッチャー/アッシャーであり、幅広い材料に精密エッチングを提供できます。その複数のユーザーフレンドリーな機能は、さまざまなエッチング用途に最適なソリューションです。