中古 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 BF #9389718 を販売中
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ID: 9389718
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
Single wafer etcher, 12"
Air valve missing
Loadport
Chamber
Robot
Controller
2005 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH DV-34 BFは、強力で高精度な反応性イオンエッチング（RIE）アッシャーです。最高レベルの効率と信頼性を実現し、厳しい産業基準を満たすように設計されています。優れた技術と特長を兼ね備えた優れたパワーと精度により、エッチング工程の生産性が大幅に向上します。SEZ DV-34 BFは、シリコン、二酸化ケイ素、石英など幅広い材料の加工が可能です。このシステムは、最適な性能と再現性で正確な制御を可能にする革新的なデュアルビームデリバリーユニットで設計されています。これは、部品が均等に間隔を空けてキャリブレーションされたエネルギーのパルスを受信し、各ワークの正確なエッチングを保証し、プロセスの再現性と安定性を向上させることを意味します。また、マイクロリソグラフィから高度なエッチングまで幅広いエッチング技術を提供し、さまざまなエッチングのニーズに最適なソリューションです。このツールは、最大4つの異なるビームをサポートし、合計プロセスサイクルタイムがわずか19分のシングルポート処理を備えています。また、最大250ワットの複数の電力レベルを提供し、ユーザーに業界最高のエッチング率を達成する機能を提供します。その他にも、95nm分解能スキャナを搭載した超高解像度デジタルイメージングモデルや、幅広い素材を安全に低温エッチングできる低温エッチングモードなどがあります。チェーン負荷の生産性をさらに高め、プロセス精度とスループットを向上させ、複数のワークを一度に同期処理できます。LAM RESEARCH DV-34BFは、エッチングされたサンプルの厚さを測定することでエッチングの深さを調整するAutoTune機能を使用して、レイヤーバイレイヤートレンチエッチングツールを内蔵し、最高の精度のエッチング結果を実現します。これにより、エッチング処理の精度、均一性、再現性が保証されます。この装置には、ユーザーの特定のアプリケーションに最適化するために、エッチングパラメータを制御する強力なデータ処理プロセッサもあります。SEZ/LAM RESEARCH DV-34BFは、優れた技術、直感的なユーザーインターフェイス、強力な機能を備えたエッチング作業に最適です。大容量かつ複雑なエッチング用途に最適で、幅広い素材を使用しながら最高レベルの精度を実現します。
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