中古 SEZ / LAM RESEARCH DaVinci DV Prime #9045178 を販売中
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販売された
ID: 9045178
Wet bench, 12"
(8) Chamber main frame, front side and backside processing
Ionization system
Filter fan unit
ISO Class 2
FM 4910 Materials
(4) Load ports
Protocol zone separation
Double side option for (2) chambers
(2) Double side DS chucks
Medium on top level double side
GEM Automation software
SMI S2 & S8 Standard
Flow monitoring and flow control
ECO End effector set
E 84 Parallel I/O
A-Jet option with DI for (2) chambers, internal supply
CO2 Enriched DI water for (2) process chambers
ASD 3: Dry option for spacer etch back for (2) chambers.
SEZ/LAM RESEARCH DaVinci DV Primeは、半導体、MEMS、医療機器業界のハイエンドのダイシング、アブレーション、マイクロマシニング用途向けに設計された精密エッチングおよびアッシング機です。SEZ DaVinci DV Primeは、高精度、高スループット、低ディフェクトレートで、高度なエッチングとアッシングプロセスの境界を押し広げようとする人々にとって、すばやく好ましい選択肢となっています。高解像度の3軸モーションコントロール装置を備えているため、初期特性に関係なく、あらゆる材料のエッチングとアッシングのための精密かつ再現性のある加工プロセスを可能にします。DaVinciの内蔵光学イメージングシステムは、正確なプロセスモニタリングを可能にし、プロセスパラメータを簡単に最適化して、正確で欠陥のない部品を作成できます。さらに、エッチングとアッシングのプロセスは完全に自動化され、ハイレベルな監視と制御のための独自のインターフェースを備えています。機械の統合ソフトウェアには、複雑な形状の自動登録システム、高度なエッジ認識ユニット、既存のプロセスを再定義するための正確なパターンマッチング機能など、多くの追加のプロセス関連機能も含まれています。これにより、ユーザーは最大限のプロセス柔軟性と再現性を持つことができます。機械はまた最大の効率のための自動ローディングおよび荷を下す機械を特色にします。オートローダーは、ユーザーが大量の部品をロードすることを可能にし、アンローディングツールは、エッチングとアッシングパラメータに従って素早く部品をソートすることができます。これにより、最終製品は最高品質であり、欠陥が排除されます。LAM RESEARCH DaVinci DV Primeは、最も厳しい要件を満たすように設計された汎用性と信頼性の高いツールです。その包括的な機能セットにより、ユーザーは比類のない信頼性と効率で、エッチングとアッシングの精度とスループットに新しい基準を設定することができます。このマシンは、最も要求の厳しい環境で動作するように設計されており、高精度のエッチングとアッシングを必要とするあらゆるアプリケーションに最適です。
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