中古 SEZ / LAM RESEARCH 305 #293652618 を販売中

SEZ / LAM RESEARCH 305
ID: 293652618
ウェーハサイズ: 8"-12"
ヴィンテージ: 2006
Spin processor, 8"-12" Chamber 2006 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH 305は、薄膜構造の製造用に設計された高精度エッチャーです。このデバイスは、湿式等方性エッチングに使用できる高出力のフッ化水素ガス源を備えています。また、反応室の迅速な避難を可能にするポンプシステムを搭載し、金属と有機誘電体の両方の正確かつ迅速なエッチングを可能にします。SEZ/LAMは0。5ミクロンまでのサイズの構造をエッチングできます。これにより、電子デバイス上でナノパターンやその他の高解像度回路を作成するのに理想的です。アッシャーは選択性エッチングも可能で、特定の材料を他の材料よりもゆっくりエッチングすることができます。例えば、酸化ケイ素は毎分1ミクロンの割合でエッチングすることができ、他の材料は毎分10ミクロンでエッチングすることができます。これは、複雑な構造の正確な製造を保証するのに役立ちます。LAM RESEARCH/LAMは非常にユーザーフレンドリーです。直感的なタッチスクリーンインターフェイスを備えており、ユーザーはエッチング時間とパラメータを簡単に調整できます。古い、より複雑なエッチャーと比較すると、SEZ/LAM RESEARCH/LAMのユーザーフレンドリーな操作は明確な改善です。このデバイスには、一度に最大5つの基板を保持できるプログラム可能なロボットローダーも含まれています。これにより、複数のプロセスを並行して簡単に実行でき、時間とコストを節約できます。安全面では、SEZ 305は非常に信頼性が高いです。それは環境からプロセス化学薬品を保つためにトリプルバルブシステムを特色にします。さらに、一定の流れを維持する再循環ポンプを使用しています。これは有害な化学物質の蓄積を最小限に抑えます。LAM RESEARCH 305は薄膜加工に最適なエッチャーです。高精度、ユーザーフレンドリーな操作、および強化された安全性の組み合わせにより、さまざまな産業および研究アプリケーションに最適です。
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