中古 SEZ / LAM RESEARCH 304 #9224043 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH 304は、高性能半導体加工に最適なアッシャー/エッチャー装置です。高性能、生産性、忠実度、均一性を提供する高度なLAMPAR™技術を備えています。SEZ 304は、LAM特有のプラズマ強化化学蒸着（PECVD）およびエッチング技術を使用して、エッチング、成膜、および抵抗/誘電性ストリッピングプロセスを統合しています。このシステムは、17インチのスローアウェイサセプターと手動で調整可能な石英ラダーを備えています。また、精密かつ再現可能なエッチング処理を可能にする上層真空ユニットを備えています。さらに、LAM RESEARCH 304は、0。001°C/min ±の再現性を備えた正確な時間ベースのプロセス制御マシンを提供します。これは、製品の品質と信頼性を確保するために重要なエッチング用途に不可欠です。304はローカルおよび全体的な温度のプロフィールの両方の精密制御を提供する高温均等性のパッケージを含んでいます。この機能は、基板全体に均一な厚さと均一性を生み出し、デバイスのパフォーマンスを向上させます。SEZ/LAM RESEARCH 304には、完全なプロセス制御とデータロギングのための高度なLAMResearch™プロセスセンターも装備されています。これにより、ユーザーはチャンバー条件を監視して、工具の性能を最大化し、製造歩留まりを最大化し、プロセス制御を向上させることができます。SEZ 304は、高度なLAMPAR™技術を使用して、エッチングプロセスの超高分解能プロファイルと均一性を提供します。これは、エッチング結果の最高の基板エッチング品質と再現性を提供します。さらに、LAM RESEARCH 304は、最先端のPLCコントローラによって駆動される独自のLAM固有のプロセスを利用しています。この資産には、アークイベントを検出および防止し、ドリフトの可能性を最小限に抑え、時間の経過とともに高い安定性を維持する機能があります。LAM 304は、半導体業界でエッチング用途に成功した実績があり、量産や研究開発に適しています。さらに、SEZ/LAM RESEARCH 304は操作と調整が簡単で、さまざまな化学薬品や基板で作業できます。高度なLAMPAR™技術、高度なプロセスセンター、高温均一パッケージにより、SEZ 304は半導体製造に最適なツールです。