中古 SEZ / LAM RESEARCH 304 #293652616 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH 304は、高品質のパターンマイクロストラクチャーを高スループットで製造するためのプラズマエッチング/アッシング装置です。シリコン、ガラス、金属、窒化物など様々な素材の基板エッチングが可能で、マイクロエレクトロニクス業界で幅広い用途を持っています。その機能と機能は、製品の製造に最高品質と再現性のある結果を提供します。SEZ 304は、基板の取り扱いを容易にする自動ロボットシステムを備えています。この自動化されたプロセスにより、露光時間を最適化することができ、反復可能で正確なエッチング結果が得られます。このユニットはまた、エッチング速度を制御する能力を備え、基板全体に均一性を提供しながら、高い精度と制御を提供します。このマシンは、アーティファクトやランオフ効果のないパターンを生成することもできます。このツールには、高度なプラズマソースも装備されており、高いレベルの性能と精度を提供します。この高度なソースは、エッチングチャンバーを介して基板に向けられた高密度プラズマを生成します。この高密度プラズマにより、エッチング速度が最適化され、高品質のエッチング構造に変換されます。LAM RESEARCH 304はマルチゾーンプロセスチャンバーを備えており、様々な材料における複数の基板のシーケンシャルエッチングが可能です。このアセットにより、エッチプロセスパラメータを制御できます。また、エッチング速度を制御するために使用される洗練されたガス供給装置を備えており、さまざまなエッチング化学物質を処理する能力を備えています。304には、パターンエッチプロファイルのエッジのサブミクロン分解能イメージングを提供する統合エッジイメージングプロファイラを含む高度な診断機能も装備されています。このシステムはまた、最高品質の結果を保証するプロセスパラメータの最適化を可能にするin-situ監視を提供しています。SEZ/LAM RESEARCH 304は、高いスループット率で高品質で再現可能なエッチングマイクロストラクチャーを製造することができ、生産スループット率の向上と最終的には生産ラインの効率化につながります。その機能と機能は、製品の製造のための最高品質と繰り返し可能な結果を提供します。