中古 SEZ / LAM RESEARCH 304 #293643887 を販売中
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SEZ/LAM RESEARCH 304は、エッチング、成膜、その他の関連業務用に設計された高性能な湿式加工装置です。その柔軟性と汎用性は、マイクロエレクトロニクス、フォトニクス、医療機器など、幅広い用途に適した優れたエッチャーです。これは、プロセス化学の複数のタイプを使用するように設計されており、それぞれのレシピは、特定の材料、クリーニングおよびエッチングパラメータを満たすように調整されています。SEZ 304は、酸溶液を使用して酸化ケイ素などの基板表面を攻撃するバッチウェットエッチャーです。圧力補償されたガス注入装置を備えており、ベース再循環の必要性を排除し、ラボ内のサンプルの迅速なプロトタイピングに最適です。エッチャーは、基板表面に到達する前に粒子や他の汚染物質を除去する再循環のろ過システムを備えた303ステンレス鋼のチャンバーに収容されています。LAM RESEARCH 304は、高精度なX-Y位置決めユニットを備えており、ブレードの高速かつ正確なアライメントを提供します。この機械は、高度なダイナミックフローバルブとともに、無駄や蓄積を最小限に抑えた精密で一貫したプロセス化学製品を提供します。また、エッチャーには革新的な磁気ツーリングツールがあり、基板の配置と取り外しをこれまで以上に簡単かつ簡単にすることができます。エッチャーは、最大厚さ6。4mm、最大重量3。1kgの直径9。9インチまでの材料を処理できます。304は既存の製造および生産プロセスに容易に統合され、モジュール設計はそれが特定の条件を満たすためにすぐにそして容易に合わせることができることを保障します。エッチング機能に加えて、エッチャーは、沈着、薄膜成長、リソグラフィ、絶縁アプリケーションなど、さまざまなプロセスで使用することができます。SEZ/LAM RESEARCH 304は、信頼性と汎用性に優れた操作性と優れた性能により、あらゆるエッチング、成膜、または関連するウェットプロセスに理想的で費用対効果の高いソリューションです。
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