中古 SEZ / LAM RESEARCH 203 #9399002 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH 203アッシャーは、汎用性の高いバッチ処理ウェーハエッチャツールです。アッシャーは、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）プロセスを搭載し、炭化ケイ素、ヒ素ガリウム、サファイアなどの高温敏感材料をエッチングおよび洗浄するために特別に設計されています。半導体製造に最適なSEZ 203は、圧力、温度、化学の組み合わせを使用して、ワークピースのクリーニング、エッチング、マスキングを行います。Asherのプロセスチャンバーは高品質の真空で加圧され、加熱されてプロセスからの汚染物質を減らすか、または明確にします。流量は自動的に監視され、エッチング速度を精密に制御できます。複数のプロセスレシピが保存され、素材に関係なく一貫したエッチング結果が得られます。同様に、すべてのプロセスパラメータは、大きなタッチディスプレイを介して簡単に調整することができ、特定の要件に迅速に調整することができます。Asherの高度な診断機能は、パフォーマンスとセキュリティを最大化します。統合されたレーザー干渉計とフォトダイオードアレイにより、Asherは基板をx方向とy方向の両方でナノメートルレベルの精度で整列させます。レーザーはまた、エッチング室に存在する不純物を検出して測定するためにレーザー干渉計を利用する汚染モニターを備えています。これにより、スクラップを最小限に抑えながら、プロセスのセキュリティと品質が保証されます。アッシャーはまた、多くの環境機能を持っています。有害物質のULグリーンラベリングシステム規格に適合しており、オゾンやその他の揮発性有機化合物（VOC）などの有害物質への曝露がないか制限されています。さらに、予期しない起動やプロセスの中断を防ぐ安全ドアが装備されています。また、アッシャーは騒音を最小限に抑え、音響レベルを最小限に抑えるように設計されています。要約すると、LAM RESEARCH 203 Asherは高温敏感材料に適した高効率で費用対効果の高いバッチ処理エッチャーです。自動化されたプロセスレシピとナノメートルレベルの精度を備えた高度な診断により、一貫した結果が保証されます。