中古 SEZ / LAM RESEARCH 201 #9024121 を販売中
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SEZ/LAM RESEARCH 201は、高品質の結果を迅速かつ効率的に提供するように設計されたラインエッチング/アッシング機器のトップです。ワンピースデザインで空間を節約しながら、希望の形状やパターンを製作するために必要な精度を提供します。システムは、エッチャーとアッシャーの2つのモジュールで構成されています。エッチャーは、酸化物を除去して抵抗エッチング用の金属表面を露出させるように設計されており、高い精度を実現しています。これは、基板に向けられた反応性ガスの使用によって達成されます。調節可能な圧力および温度の単位を提供することによって、このモジュールはさまざまな材料および層の条件を満たすことができます。アッシャーモジュールは、HFベースのガスプラズマで金属蒸着および絶縁体パターニングのプロセスを容易にします。精密切断とエッチングのためにエッチング全体に均一なパワー濃度を維持しているため、ファインフィーチャーパターニングに最適です。さらに、このモジュールの精度により、さまざまなコーティングで複雑なディテールを作成することができます。機械のSEZ 201モデルは、自己完結型エッチングステーション、高速RFジェネレータ、ソフトウェア駆動データ取得、および精密なペレット発電機を備えた完全統合ソリューションをユーザーに提供します。ガスタイプと圧力設定の多種多様なツールは、基本的なプロセスから複雑な設計まで、さまざまなプロジェクトを簡単に処理できるように設計されています。このアセットには、デジタル読み出しと迅速なモデル調整を提供するユーザーフレンドリーなGUIも含まれています。さらに、301はセルフクリーン機能も備えており、コンタミネーションの蓄積を防ぎ、高品質のエッチングとアッシングの結果を可能にします。LAM RESEARCH 201は、ワンピース設計と高度な機能が利便性と正確性を提供するため、産業および実験室の両方の操作に理想的な機器です。その2つのモジュールは、ユーザーが最適な品質レベルを確保しながら、迅速に詳細な結果を得ることができます。
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