中古 SEZ / LAM RESEARCH 101 #9246714 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH 101は、SEZによって設計および製造されたエッチャー/アッシャーです。高精度・高精度の基板を素早く正確にエッチング、堆積、平面化するために設計された熱化学処理装置です。このシステムは、不活性ガスの大気と、エネルギー・ツー・ワークの分離と制御を特徴とする温度制御プラットフォーム上に構築されています。SEZ 101は、エッチングおよびアッシュ加工部品を実現する一連のプロセスモジュールを採用しています。これには、インターフェイスチャンバー、エッチング/アッシングチャンバー、クーラントモジュールが含まれます。このユニットは、温度、流量、圧力、時間など、さまざまなプログラム可能なパラメータを提供します。温度は、基板の一貫したエッチングを提供するために、事前に定義されたレベルで維持されます。エッチング/アッシングチャンバーは、機械の重要なコンポーネントです。それに基質の均一な熱および化学処置を保障する複数の地帯の空冷および温度の均等性（1。7 x 1。7"間の32°F）があります。このチャンバーには、高率のプラズマ源とシールドも装備されています。均一なエッチングを確保するために、プラズマ活性化のために周波数安定化RF源が使用されます。インターフェイス部屋が基質の暖房および気流制御の間に真空を提供するのに使用されています。均一なエッチング率を保証するイオンソースを装着しています。クーラントモジュールは、エッチング/アッシングチャンバーと基板の一貫した冷却を保証するように設計されています。あらかじめ定義されたレベルで温度を維持するために装備されています。プログラム可能なガスの入口および出口はプロセス部屋の均一なガスの流れを提供します。LAM RESEARCH 101は金、アルミニウムおよびケイ素を含むいろいろな基質と、働くことができる適用範囲が広いエッチング/ashing用具です。高いエッチング率、優れた均一性、再現性を備えた101は、多くのエッチングおよびアッシングプロセスにとって効率的なソリューションです。このアセットは、MEMS製造からプロトタイピングまで、幅広いアプリケーションに最適です。