中古 SEZ / LAM RESEARCH 101 #293758270 を販売中

ID: 293758270
Spin etchers.
SEZ/LAM RESEARCH 101は、エッチャー/アッシャーであり、エッチングおよびエッチングレーンの選択的除去装置の一種です。これは、特にマイクロエレクトロニクス、半導体、および太陽電池産業で、小さな機能の処理に一般的に使用されます。SEZ 101は、半導体、金属、ポリマー、酸化膜などの材料エッチングのための高精度、再現性、柔軟性のあるシステムを提供します。このユニットは、プロセスチャンバー、精密制御ユニット、エッチヘッドの3つの密接に統合されたコンポーネントで構成されています。プロセスチャンバーは、エッチング動作に必要な密閉環境を提供し、生成されたエッチング残留物を除去するための強力な排気装置を内蔵しています。精密制御ユニットには、材料の精密エッチングを可能にするために必要なプログラミング、加熱、制御が含まれています。最後に、エッチヘッドは、パターンを選択的にエッチングするために基板に印加される電力と電流の量を正確に制御する機能を提供します。LAM RESEARCH 101は、25ナノメートルまでの機能サイズを実現する強力で高速かつ精密なエッチングエンジンを備えています。このツールには、あらゆるサイズのエッチング粒子が真空チャンバーから排出され、高品質の環境を維持する最先端のフィルタリングアセットが含まれています。さらに、エッチモデルは、接触、金属化、絶縁アプリケーションに使用できる材料や機能を正確にパターン化する機能を提供します。その柔軟性と精密なエッチング機能により、101は、集積回路、太陽電池、およびマイクロエレクトロメカニカルシステムの製造、ならびに高度な研究アプリケーションに使用されます。この装置は、異なる基板、材料、およびアプリケーションの複数のプロセスとワークフローをサポートすることもできます。さらに、このシステムは優れた視覚イメージング機能を備えており、エッチングプロセスの前後のエッチングパターンを非破壊的に評価することができます。全体として、SEZ/LAM RESEARCH 101は、マイクロエレクトロニクスおよび半導体産業で使用されるさまざまな材料をエッチングするための強力で正確で柔軟なソリューションを提供する高度なエッチングユニットです。それは高度の研究および生産の適用に使用する信頼でき、経済的な用具です。
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