中古 SEZ / LAM RESEARCH 100 #9211219 を販売中

SEZ / LAM RESEARCH 100
ID: 9211219
Single wafer etcher.
エッチャー/アッシャーとしても知られるSEZ/LAM RESEARCH 100は、高スループット基板のインラインまたはバッチ処理用に設計された、モジュール式、汎用性の高い化学処理装置です。このシステムは、表面清浄度、ウェーハ表面実装部品のアタッチ/デタッチ、ウェーハボンディング、デバイスのカプセル化、セラミックコーティング、およびダイアタッチに最適です。SEZ 100は、エッチングやアッシングなど、さまざまな用途に対応できる汎用性の高いユニットです。この機械は、直径6インチまでの基板と25ミクロンまでの厚さを処理する能力を持っています。使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを誇り、高精度な熱電対やその他のセンシングアイテムを使用して正確なプロセス制御を提供します。このツールは、完全で信頼性が高く、繰り返し可能なエッチング/アッシュプロセスを提供するように設計されています。LAM RESEARCH 100には、幅広い用途に対応できる多くの機能が搭載されています。腐食性液体の特殊配送資産であるAcutherm、調節可能な化学注入モデルであるFlexiloadなど、化学配送用のモジュールがいくつかあります。この装置には、精密温度制御、プログラム可能な温度ランプ、溶剤オーバーラン、ヒートソーク、および自動熱電対など、温度制御のためのいくつかのオプションがあります。さらに、システムには循環機能が内蔵されているため、入浴寿命が延長され、プロセスが再現可能です。100はエッチングおよびashingのためのオールインワンソリューションとして設計され、既存の生産ラインに容易に統合することができます。このユニットは、モジュラー設計と汎用性の高い設計により、一貫した結果と最小限のダウンタイムでエッチング/アッシングが可能です。また、高度な機能により、化学物質の使用や労働要件を最小限に抑えながら、高性能な製品を生産することができます。SEZ/LAM RESEARCH 100は、ハイスループット基板のインラインまたはバッチ処理において、信頼性が高く、強力で費用対効果の高い選択肢です。ユーザーフレンドリーな機能と汎用性の高いモジュールを備えたこのマシンは、基板をエッチング/アッシュするための信頼できるツールを探している企業にとって理想的な選択肢です。
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