中古 SES Sugai #9192009 を販売中

SESスガイは、ウェーハの高精度エッチングとアッシングのために設計された高度なエッチャー/アッシャーです。これは、精度と効率性を確保するために、いくつかの特殊なプロセスと機能を利用しています。まず、高速XYステージとモーションコントロール装置を搭載し、ウェーハキャリアの高速かつ正確な移動を実現しています。これにより、エッチャー/アッシャーはターゲットウェーハを迅速かつ正確にスキャンできます。ステージには、ウェーハキャリアの正確なアライメント、プロセスの速度と解像度の調整に使用される高度なレーザーシステムも装備されています。第二に、SESスガイは高精度のエッチングとアッシングを可能にする特殊なガス供給ユニットを使用しています。ガス供給機は、酸素、Ar、 N2、およびその他のガスの精密な組成を提供し、指定されたガス流量と圧力を確保します。このツールはまた、ガス配送ラインの汚染を防ぎ、ウェーハの効率的なエッチングとアッシングを保証します。第三に、スガイはダイレクトエッチングとアッシングのプロセスに使用されるプラズマ源を備えています。このプラズマ源は、エッチングやアッシングに非常に適した均一な低温プラズマを生成します。プラズマ源の高エネルギー密度により、エッチング速度が向上し、プロセス速度が向上します。最後に、SES Sugaiには、エッチングおよびアッシングプロセスのさまざまなパラメータを監視するために使用される複数のプロセスセンサーが装備されています。これらのセンサは非常に正確であり、エッチングおよびアッシング処理中にウェハの加熱および冷却速度、圧力、およびガスの流れを正確に制御することができます。全体的に、スガイは、ウェーハのエッチングとアッシングのための高精度な結果を提供するように設計されている高度なエッチャー/アッシャーです。その特殊な機能と機能は、ウェーハ処理アプリケーションのための強力なツールになります。