中古 SES MU-0712-01-02 #9284128 を販売中

SES MU-0712-01-02エッチャーは、Semes Corp。が開発した高性能反応性イオンエッチング装置です。MU-0712-01-02は、最先端の大気圧イオンエッチング技術を活用し、物理学・材料科学の分野での使用に特化して設計されています。この技術は、電子ビームがRF（無線周波数）場で誘導されるときに放出されるエネルギーに依存します。このプロセスにより、非常に低いイオンエネルギーで微細なエッチング結果が得られるため、化合物半導体やナノ構造などの高感度デバイスのエッチングに最適です。エッチャーには、物理学や材料科学に最適なツールとなるいくつかの機能が装備されています。直感的に設計されたユーザーインターフェイスを使用して、実験を簡単に設定および調整できます。また、ウェハマッピング、英数字リファレンスインデックス、バーコードラベリングなどのウェハハンドリング機能も備えています。これにより、ウェーハの正確なエイリアクォートと識別が可能になります。システムには、エッチャーの信頼性と安全な動作を保証するいくつかの高度な安全機能が装備されています。このユニットは、エッチャーが異なるガス圧力範囲で動作することを可能にする圧力制御ユニットのおかげで、高スループットを達成することができます。この範囲は、エッチング要件に応じて手動または自動で調整できます。さらに、機械の温度モニターは、エッチング工程の均一性を制御するのに役立ちます。SES MU-0712-01-02は、2つの異なるジオメトリを使用して、Focus Gaussian BeamとOff Focus Gaussian Beamを介して精密エッチングを実現します。前者は後者に比べてイオンエネルギーが高く、エッチング時の精度が向上します。さらに、MU-0712-01-02は3つの異なるポンピングモジュールが装備されています：拡散、ターボと低温。この構成により、さまざまなガスフロー要件を提供し、ツールの圧力を正確に制御することにより、さまざまなアプリケーションのエッチング処理を最適化することができます。さらに、エッチャー内部のカスタムメイド電極により、エッチングの均一性とスパッタ率が低くなります。SES MU-0712-01-02エッチャーは、簡単なメンテナンスと低コストの操作のために設計されており、研究所、大学、研究施設に最適です。堅牢な安全システム、直感的なユーザーインターフェイス、精密なエッチング機能などの高性能な機能により、研究環境に最適なエッチング装置です。