中古 SES AE3030A2 #9283560 を販売中

SES AE3030A2は、さまざまな材料の高精度で費用対効果の高い加工用に設計された高度なプラズマエッチャー/アッシャー装置です。エッチングとアッシングプロセスを最適化するために、高品質の真空環境を作成することができる真空チャンバーを備えています。このチャンバーはまた、高い不揮発性ガスの流れをサポートしています。このシステムは、最大300Wの電力を供給できる13。56MHz RFジェネレータを使用しており、アッシングプロセスを正確に制御できます。AE3030A2は、パフォーマンスと精度を最適化するための最新技術を取り入れています。高精度のリニアドライブステッピングモータを搭載し、3秒間の繰り返し精度を実現し、高精度で正確な加工が可能です。その高度なデジタル制御ユニットは、継続的に調整可能なパラメータを提供します。統合された制御ユニットは、エッチングとアッシングパラメータのリアルタイムプログラミングを可能にします。また、エッチングとアッシングの進行を監視および制御するための内蔵グラフィックディスプレイも含まれています。機械には5位置連続大気サンプラーが装備されています。このサンプラーは、5つの位置ごとにエッチングおよびアッシング処理のパラメータをマッピングし、基板全体にわたって均一なエッチング品質を確保します。このツールには、オプションの高温スパッタチャンバーがあり、最大1700°Cの温度でサンプルを処理することができます。SES AE3030A2は、信頼性が高く、堅牢で正確なエッチングとアッシング資産です。金属、プラスチック、セラミックス、その他の非伝導材料を含む様々な材料のエッチングとアッシングを最適化することができます。5つの連続した大気サンプラー位置上のエッチングおよびアッシングパラメータを正確にマッピングする機能により、均一な結果が得られます。さらに、このモデルの高温スパッタチャンバーは、サンプルの処理を最適化するための追加の柔軟性を提供します。最後に、その高度なデジタル制御装置は、高精度、正確な加工のための継続的に調整可能なパラメータを提供しています。