中古 SES AE3029A2 #9283561 を販売中

SES AE3029A2
ID: 9283561
System.
SES AE3029A2エッチャー/アッシャーは、さまざまな用途でコンポーネントや材料を正確にエッチングおよびアッシングするために使用される高精度のエッチングおよびアッシング装置です。このシステムは、簡単なユニット制御のためのインタラクティブタッチスクリーンを備えたバーコードスキャン機能を備えています。試作、研究、材料加工、製造に最適です。AE3029A2には30 GHzのパルス幅変調RF (PWMRF)ジェネレータが搭載されており、高精度のエッチングとアッシングを保証するために最大1Wの出力を生成できます。この強力で効率的なマシンは、材料を損傷したり、過剰処理することなく、高精度の精度でエッチングし、灰にすることができます。このツールは、12 「x 12」基板サイズまでのさまざまな材料にも対応しています。SES AE3029A2は、強力なエッチングおよびアッシング資産に加えて、エッチングおよびアッシングの最高品質を保証するチャンバーフィルトレーションモデルも備えています。ろ過装置は、ロードロックとエッチング/アッシャーの両方のフィルターを使用して、プロセスチャンバーから1ミクロンの小さな粒子を除去し、優れた汚染制御を行います。このチャンバーろ過システムには、ガス除去用の排気も含まれており、クリーンエッチングとアッシングプロセスを確保するために不可欠です。最後に、AE3029A2は高度なプロセスモニタリング機能を備えており、エッチングおよび/またはアッシングサイクル全体でプロセスパラメータをリアルタイムで監視できます。これは、プロセスが予想通り進行していることを保証し、過剰処理または過剰なエッチング/アッシングを回避するのに役立ちますコンポーネントや材料。これは、プロセス最適化における貴重なツールとしても役立ちます。SES AE3029A2エッチャー/アッシャーは、高精度のエッチングとアッシングのための強力で効率的なユニットです。そのPWMRFの発電機は出力の1Wまで作り出すことができ高度の部屋のろ過およびプロセス監視システムは良質のエッチングおよびashing結果を保障します。試作、研究、材料加工、製造に最適です。
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