中古 SEMIX / TOK TSE 360 #9068921 を販売中

SEMIX/TOK TSE 360は、マイクロエレクトロニクス回路をウェーハや基板に転送するために使用されるエッチャー/アッシャーです。ウェハレベルのパッケージングアプリケーション向けに設計されています。Smart Etch™技術として知られている特定のプロセスを特徴としています。これは、化学物質、ガスのフラックス、および最高の機能分解能を提供するための活性反応の組み合わせで構成されています。このSmart Etch™プロセスは、フォトレジストまたはそれ自体と組み合わせて使用することができます。TOK TSE 360は、ピッチ「ホットスポット」の最小から周辺機器の最大まで、さまざまなウエハや基板を処理することができます。これは、複数のエッチングチャンバーで設計されており、同じ操作でデバイスの前面と背面の両方を処理することができます。これは、プロセスのための精密な化学制御を提供する洗練されたガスのフラキシングモジュールが装備されています。さらに、ユーザーが必要に応じてエッチングレシピをすばやくプログラムして調整することができる高レベルのユーザーインターフェイスを備えています。SEMIX TSE 360は、正確な機能分解能が可能です。高精度のツールアーキテクチャにより、ほとんどの機能は設計通りに再現されます。これは、小さなノズル設計と精密なガスフラックス化学の組み合わせによって実現されます。さらに、Smart Etch™技術は、深さの変更を一貫して削減し、精度を向上させます。TSE 360は大容量、大容量の生産で使用するために設計されています。複数の基板の同時処理が可能で、動作ごとに最大600個のウェーハを処理できます。エッチング能力が大きいため、大量生産に最適です。さらに、その精度と精度は、ハイエンドのデバイス製造に適しています。結論として、SEMIX/TOK TSE 360は、ウェハレベルのパッケージングアプリケーション向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。スマート・Etch™技術と洗練されたガス・フラックス・モジュールを備えています。精密な機能再現が可能で、複数の基板の同時処理が可能です。これらのすべての機能により、TOK TSE 360は大量の大量生産に最適です。