中古 SEMIX / TOK TSE 306W #9061404 を販売中

SEMIX/TOK TSE 306Wは、幅広い基板上で高精度のエッチングおよび表面置換プロセスを実行するために使用されるエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、プラズマまたは静的エッチング段を備えたシングルチャンバー構成を使用して、材料を正確に堆積および除去します。TOK TSE 306Wの高度な機能を活用することで、幅広い金属、プラスチック、その他の材料で優れた結果を得ることができます。SEMIX TSE 306Wユニットは、大きなオブジェクトやワークに対応できるメインチャンバーで構成されています。チャンバーの内部には、基板の表面に材料を堆積するために使用されるエッチング段階があります。エッチングステージは、最大+/-10ミクロンの高精度な位置精度を可能にします。このマシンには静的エッチング段もあり、ユーザーは正確なサーフェス置換プロセスを実行できます。静的エッチングステージは、ワークの表面から最大1 μ mの材料を除去することができます。さらに、TSE 306Wには平面DCまたはRFプラズマジェネレータを装備することで、より積極的なエッチングを実現できます。SEMIX/TOK TSE 306Wツールは、一貫した正確な結果を保証するために役立つ様々な用量と温度制御機能で構成することもできます。投与量制御アセットにより、各エッチング工程で使用される化学物質の正しい用量を簡単に設定できます。温度制御モデルにより、ユーザーは正確なプロセス温度を設定できます。さらに、TOK TSE 306W装置には、高度な濾過システムと、安全性と環境保護を向上させるための絶縁排気が含まれています。全体的に、SEMIX TSE 306Wは、さまざまな基板上で高精度のエッチングおよび置換プロセスを実行する必要があるユーザーのための優れたエッチャー/アッシャーユニットです。このマシンは、最小限の労力で優れた結果を達成することができますが、その高度な機能は、一貫した正確な結果を保証するのに役立ちます。