中古 SEMIX / TOK TCA 2600 #9068923 を販売中

SEMIX/TOK TCA 2600は、さまざまな生産ライン用途で使用されるように設計されたエッチャー/アッシャー装置です。これは、自動制御と手動制御の両方を備えたスタンドアロンの統合システムで、エッチングとアッシングプロセスを正確に制御および操作できます。このユニットは、ステンレス鋼から構成されたチャンバー、ガス分配機、およびプロセスパラメータの正確な制御を可能にするコントローラとバルブのセットを備えています。TOK TCA 2600は、強力なマグネトロン源を使用してエッチングやアッシングに使用されるプラズマを生成します。生成されたプラズマが一貫して信頼できることを保証するために、ガス、圧力、温度など、多くのプログラム可能なパラメータが利用可能です。SEMIX TCA 2600は、ツールの制御、レシピの設定と実行、プロセスの監視に使用されるユーザーフレンドリーなインターフェイスも備えています。この資産は、さまざまな通信プロトコルをサポートしており、生産ラインに簡単に統合できるように設計されています。ソフトウェアパッケージには、プロセスデータを収集、分析、可視化し、処理レシピの開発を簡素化するための幅広い機能が含まれています。プロセスチャンバーには、圧力モニター、真空インターロック、アラームモデルなど、さまざまな安全機能が装備されています。これらは、プロセスが安全かつ確実に実行されるように設計されています。また、TCA 2600には、機器の故障や異常を監視するメンテナンス機能が多数搭載されています。全体として、SEMIX/TOK TCA 2600は、信頼性の高い正確なパフォーマンスと安全機能、および生産ラインへの容易な統合のためのユーザーフレンドリーなインターフェースを提供するエッチャー/アッシャーシステムです。このユニットは、一貫した正確な結果を提供するように設計されており、さまざまな生産アプリケーションに最適です。