中古 SEMITOOL Excalibur 2000 #9250097 を販売中

SEMITOOL Excalibur 2000は、半導体産業のための最先端の、高性能エッチャーとアッシャーです。これは、最高のプロセスの均一性と最低の総所有コストを提供します。Excalibur 2000は、基板の欠陥を最小限に抑え、粒子の汚染を低減し、プロセスのコンプライアンスを確保するために高度に最適化された高度な自動プロセス制御装置を備えています。マスキング、エッチング深さ、エッチング速度、基板の平坦度を正確に制御する高度なエッチング機能を提供します。乾燥した媒体と湿った媒体の両方をエッチングして沈殿させることができ、卓越した精度で比類のないプロセス再現性を提供します。SEMITOOL Excalibur 2000は、基板全体の範囲に沿って± 1°C/minの比類のない熱均一性をもたらすダイナミックチャンバー設計を備えており、一貫したプロセス結果を保証します。プロセス定義と制御が組み込まれており、高い歩留まり、高いスループットの半導体生産に柔軟性と精度を提供します。一貫した結果を得るために、Excalibur 2000は、最適なプロセス制御のために精密に調整および計量することができる優れた高純度加工ガスを使用しています。それはリアルタイムで監視し、ガス損失をかなり減らすことができる高度の冷却装置、その場の温度および圧力センサーを特色にします。RFジェネレータ用の生涯モニタなどの高度なプロセス制御監視およびレポート作成ツールにより、重要なパラメータを監視し、プロセスの問題に迅速に対処できます。統合された電源監視ユニットを使用すると、発電機の出力電力を継続的に監視し、問題が発生したときに警告することができます。SEMITOOL Excalibur 2000は、生産者に信頼性の高い結果、低所有コスト、および高性能を提供するように設計されています。その高度な再循環マシンは、粒子の蓄積と汚染のためのプロセスチャンバーとポンプを監視し、きれいにします。プロセス精度と効率性を備えたExcalibur 2000は、エッチングおよびアッシャープロセス工程において、業界最高水準のスループットを提供します。