中古 SEMI GROUP 2000 PP #9184464 を販売中
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SEMI GROUP 2000 PPは、半導体業界で使用するためのユーザーフレンドリーで信頼性の高いエッチャーおよびアッシャー機器です。半導体に使用されるオンチップ材料の高品質・高精度エッチング・アッシング用に設計されています。このシステムは、堅牢なオーガベースの処理チャンバ、デジタル高周波発電機、可変電力制御を備えたマルチバッフル技術、およびリアルタイム圧力制御を備えています。2000 PPはシンプルで使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを提供し、エッチングとアッシングプロセスパラメータを正確に制御できます。このユニットにより、オペレータはプラズマパワー、ウェーハ温度、チャンバー圧力などのいくつかの異なるパラメータを監視および制御することができます。これらのパラメータを正確に制御できるだけでなく、オペレータは特定の要件に合わせてエッチング速度を調整することもできます。機械に搭載されているデジタル高周波発電機は、エッチングおよびアッシングプロセスのプラズマが均一で制御されていることを確認するのに役立ちます。これは、エッチングされて灰になる部品の品質を向上させるのに役立ちます。可変電源制御を備えたマルチバッフル技術は、迷惑プラズマがエッチングおよびアッシングプロセスに影響を与えるのを防ぐのに役立ちます。リアルタイム圧力制御により、処理中に空気圧が常に調整されます。SEMI GROUP 2000 PPは、ユーザーフレンドリーで正確なだけでなく、あらゆるエッチングとアッシングサイクルで高い反復可能な結果を提供します。これにより、このツールで製造された部品が厳格な品質基準を満たすことができます。このアセットは、オンボード診断モデルを使用して低メンテナンスであるように設計されているため、潜在的な問題を簡単に特定してトラブルシューティングすることができます。最終的に、2000 PPは半導体産業で使用するための信頼性の高い高品質のエッチャーおよびアッシャー機器です。堅牢なオーガベースの加工チャンバ、デジタル高周波発生装置、可変電源制御を備えたマルチバッフル技術、リアルタイム圧力制御により、オンチップ材料の精密エッチングとアッシングに最適なシステムです。
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