中古 SEC TIPS435A #9402366 を販売中
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SSEC TIPS435Aは、中米シリコン製品公社(SASPC)が製造するエッチャー/アッシャーです。半導体加工のウェハ加工に使用されるプラズマエッチャー/アッシャーの一種です。TIPS435Aは汎用性の高い機械であり、シリコン、アルミニウム、ゲルマニウムなど幅広い材料を処理することができます。この機械は、プラズマ材料のイオンを高速で加速することができる2つのカソード駆動装置を使用しています。これにより、機械は非常に高速で精度の高いウェーハに回路パターンをエッチングまたはアッシャーすることができます。エッチング/アッシングプロセスは、RFパワーと誘導加熱とイオン爆撃プロセスを組み合わせて行われます。イオン爆撃プロセスは、プラズマ材料のイオンがエッチングまたはアッシャーマークを作成する基板に駆動される場所です。エッチング/アッシング処理は高精度で、微細な空間間隔で機能を生成することができます。プラズマ材料とウェーハ構造を複数のイオンで分離し、高精度なウェーハ加工を可能にすることで、ウェーハの層を正確にエッチングまたはアッシュします。SSEC TIPS435Aには、エッチング/アッシング工程中のウェーハの汚染を防ぐパージシステムも装備しています。また、自動温度制御、マイクロ波プロジェクション、セルフテスト機能など、多くの自動化された機能を備えています。TIPS435Aには、冷却システムや自動脱イオン化システムなど、多くの安全機能があり、エッチング/アッシングプロセスが安全で信頼性の高い方法で実行されるように設計されています。SSEC TIPS435Aは、高効率で信頼性の高い機械であることが証明されています。エッチング機能とアッシング機能、精度、安全性を兼ね備えているため、ウェーハ加工に最適です。その結果、TIPS435Aは現在、半導体業界で広く使用されています。
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