中古 SCI AUTOMATION CAM2 #9249239 を販売中

SCI AUTOMATION CAM2は、小型フットプリントによる高速高品質マイクロファブリケーション用に設計された高度なエッチング/アッシング装置です。ユーザーのニーズに応じて柔軟性とカスタマイズを可能にするモジュラー設計を備えています。CAM2には、化学処理用のウェットベンチと、アッシング用の実験室が含まれています。さらに、マスクレスと従来のリソグラフィ、ウェットジェット、化学蒸気エッチング（CVE）を十分に制御することができます。SCI AUTOMATION CAM2は、直感的な10 タッチLCDスクリーンによって駆動され、グラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）により、ユーザーが簡単にシステムとやり取りしたり制御したりすることができます。GUIから設定可能なさまざまなプロセスパラメータを備えており、ユーザーはプロセスを希望する仕様にカスタマイズできます。統合された設計により、外部計装が削減され、GUIによりプロセスパラメータの設定時間が短縮されます。ウェットベンチには、温度制御され、エッチングとアッシングのために所望の温度に加熱される化学貯水池が含まれています。リザーバは自動液体処理装置に取り付けられているため、化学物質を適切な比率で正確に配送および混合することができます。ウェットベンチの他のコンポーネントには、腐食を防ぐための脱イオン水槽、リサイクル可能な廃棄物コンテナ、安全パネル、紫外線源を備えた露出チャンバーがあります。露出チャンバーには、温度や圧力などのプロセスを監視するためのセンサーも内蔵されています。アッシングチャンバーは、安全で制御された雰囲気を提供するように設計された囲まれたインテリアを備えています。それに危険な材料、調節可能なファンの速度、および望ましいプロセスのための理想的な温度を維持する温度調整用具から労働者を保護する排気機械があります。アッシングチャンバーには、ウェーハを保持するためのクォーツるつぼ、エッチングと移動のためのデュアルアームロボットが装備されています。CAM2には、自動化されたスペアパーツの取り扱い、クイックサンプル/基板の切り替え、および高速熱処理時間も備えています。また、温度シャットダウンアセット、緊急停止ボタン、火災抑制モデルなど、さまざまな安全機能を備えています。全体として、SCI AUTOMATION CAM2は、統合された設計と堅牢な安全機能を備えた、高度でユーザーフレンドリーなエッチング/アッシング機器です。直感的なLCDタッチスクリーンとカスタマイズ可能なプロセスパラメータは、ユーザーにアプリケーションに特定のプロセスをカスタマイズする柔軟性を提供します。豊富な機能と信頼性の高い性能を備えたCAM2は、要求の厳しい微細加工作業に最適です。