中古 SCHMID Infinity Line #293605245 を販売中

SCHMIDインフィニティラインエッチャー/アッシャーは、さまざまな産業材料の高度な処理のために設計された機器です。このシステムは、簡単なエッチングやアッシング処理から、より複雑な表面微細構造化操作まで、幅広い用途に使用できます。無限ライン単位は2つの主要なモジュールから成っています；単一のウェーハエッチング/アッシングプロセッサとオプションの熱処理ユニット。SCHMID Infinity Lineエッチング/アッシングプロセッサは、ユーザーフレンドリーなグラフィックスユーザーインターフェイス（GUI）と、最大の再現性と再現性を確保するための簡単なプロセス制御機能を備えたコンパクトに設計されたマシンです。このツールは、高速スキャンエッチング/灰チャンバだけでなく、1 μ m未満のサンプル位置決め精度を持つ個別に収容されたプログラム可能な三軸（X、 Y、およびΩ）コントローラで構成されています。このアセットにより、エッチング/アッシングメカニズムの温度やパワーなどのエッチング/アッシングプロセスパラメータを正確に制御できます。インフィニティラインは、シングルウェーハアプリケーションに加えて、バッチモードで25個のウェーハを処理することができます。内蔵のメモリストレージを使用すると、レシピを保存して再実行し、迅速かつトラブルのない処理を行うことができます。SCHMID Infinity Lineは周波数制御駆動モータを搭載しており、プロセス速度制御と精度を実現しています。さらに、プロセスの進行を監視し、リアルタイムで収差を検出するために、周波数変調（FM）測定を利用できます。オプションの熱処理ユニットは、インフィニティラインエッチング/アッシングプロセッサに接続されており、基板の前処理と後処理を行うことができます。このモデルには、非接触、非熱、ピロメーターが装備されており、正確な温度制御と均一な熱処理を保証します。また、ArやN2など複数の熱処理ガスを使用して、基板に正確に熱を伝達することができます。SCHMIDインフィニティラインエッチャー/アッシャーの全体的な設計は、非常に強力で、幅広い材料を処理し、高精度のエッチングとアッシング操作を実行します。この装置は反復可能なエッチング/アッシング結果を保証し、熱処理に最適な温度管理を提供します。