中古 SCHMID Blue 1100 #9006876 を販売中

SCHMID Blue 1100は半導体の製造で使用される化学エッチングおよびアッシング機械です。4インチウェーハ、金属、およびMEMSから高度な3Dパターンまでの基板のための効率的で信頼性が高く、費用対効果の高いソリューションです。このマシンには「スマートチップマッチング」と呼ばれる独自の技術が搭載されており、チップまたはデバイスを完全に相互にマッチングし、より高いスループットとより良い歩留まりを実現します。Blue 1100は、最適なフローと最大のパフォーマンスを可能にするように設計されたオールスチールフレームで構築されています。このフレームは、高温動作時でも安定した構成を保証し、メンテナンスが容易なように設計されています。チャンバーは、均一なエッチング効果を与えるように設計されており、IEC 61672-3規格を満たしたクリーンルーム操作のために承認されています。また、-10°Cから+54°Cまでの温度範囲の変調に耐えるようにテストされています。機械は優秀な歩留まりを維持しながら高速で処理するために設計された高度の理性的な処理システムによって動力を与えられます。PID温度コントローラを搭載し、より高い温度で動作し、温度変動を最小限に抑えることができます。また、各種入出力カード、サーマルプリンタ、急速サーマルサイクル用の三方弁、精密エッチングおよびアッシング用の他の専用部品も備えています。機械には高度な冷却システムがあり、最適なプロセス温度が得られます。さらに、冷却水の設計はチャンバーの周りを駆動し、長いプロセス時間と高温の間、基板が安定した状態に保たれるようにします。SCHMID Blue 1100は、サイクル、高精度、安全性を最適化するためのインテリジェントソフトウェアも備えています。また、遠隔操作も可能で、生産の柔軟性を提供し、ユーザーは1つのタイプの製品から別の製品に素早く切り替えることができます。全体として、Blue 1100は半導体生産に最適なエッチャーおよびアッシャーです。特徴豊富で堅牢で、クリーンルーム操作用に設計されています。大きな基板ウエハーをはるかに高い収率と少ない可変プロセスで処理することができ、効率的で費用対効果の高い半導体の生産を可能にします。