中古 SAMCO UV-300HC #9379073 を販売中

SAMCO UV-300HCは、プラズマエッチングおよびアッシングプロセス用に特別に設計されたエッチャーおよびアッシャーです。高速で動作し、高品質な最終結果を提供するために開発されたハイテク製品です。この製品は、シリコンやセラミックなど、さまざまなウェーハに対応するように設計されています。チャンバー自体はステンレス鋼から構成されており、内部の熱交換器で設計されており、熱の蓄積を防ぎ、プロセスの信頼性を確保しています。UV-300HCは高容量ターボポンプとともに、高性能の真空を装備しています。これにより、高圧エッチングやアッシングにも対応でき、汚染を最小限に抑えて優れた結果を得ることができます。また、UV光にさらされた後に急速にウェーハを冷却することができる高度なチラーシステムを採用しています。このシステムには、正確な温度制御のためのPID温度コントローラも含まれています。SAMCO UV-300HCは、プロセスの制御と監視を容易にするための高解像度カラーLCDスクリーンを備えています。このデバイスには、ユーザーがパラメータを調整してプログラミング設定を変更できるようにするプログラム可能なステージも含まれています。これにより、ユーザーの要求に応じてエッチングとアッシングのプロセスをカスタマイズすることができます。UV-300HCは、先端技術を活用して、迅速な応答時間を提供し、プラズマエッチングとアッシングプロセスの精度を確保します。このデバイスは、250A/cm2までのエッチング速度と最大100A/cm2までのアッシング速度を提供することができます。それにまた400の作り付けのRFの発電機があります