中古 SAMCO UV-1 #293757914 を販売中

SAMCO UV-1は、さまざまなマイクロエレクトロニクスの製造において半導体ウェーハの加工に使用されるUVエッチングおよびアッシング装置です。このエッチャー/アッシャーは、紫外線の技術を利用して目的の製品を作成するためにターゲット材料を露出し、除去します。SAMCO UV 1は、主に敏感な表面を洗浄するため、特に半導体ウェーハの表面からポスト露出残留物を除去するために使用されます。エッチング操作の正確な性質は、エッチングされる特定の材料と所望の仕上げによって異なります。例えば、誘電体の層を除去したり、誘電体の堆積物または層を通して接触穴をエッチングしたりすることができます。UV-1は、システムがそのエッチングとアッシングのタスクを実行することを可能にするいくつかのコンポーネントで構成されています。このユニットは、通常、水銀ランプとフォーカシングヘッドを使用して、エッチングまたは灰になっている材料の表面に高輝度の光ビームを導きます。光源は処理される特定の材料のための最もよい集中の角度を得るために調節することができる支持のプラットホームで置かれます。窓は通常、強烈な紫外線から窓を保護するために含まれています。通常、ウエハ保持用のシングルチャックもUV1マシンに含まれています。このチャックは、表面が光源にさらされているため、半導体ウェーハを確実にグリップして回転させることができます。さらに、チャックを調整して、露出面のUV面のスキャン速度を制御することができます。スキャン速度のこの制御は、表面全体に均一なエッチングまたはアッシングを確実にするのに役立ちます。さらにエッチングまたはアッシングを確実にするために、SAMCO UV-1ツールには一連のコントロールが付属しており、露出時間、スキャン速度、および光電力レベルを独自にプログラムできます。また、ユーザーが継続的にすべての資産設定を監視できるように、デジタル読み出しが含まれています。これにより、露出領域の正確な制御とともに、反復可能で正確なエッチング、および表面から除去される材料の量の正確な制御が可能になります。また、SAMCO UV 1の設計においても、ユーザーの安全性や加工する素材の安全性を考慮しています。このモデルには、任意のウエハの露出時間を一定の期間に制限するために使用できるタイマーが装備されており、紫外線への過剰露出からユーザーを保護するのに役立ちます。さらに、機器は適切な換気を受け入れるように設計されており、有害な発煙が周囲の環境に逃げることができます。要約すると、UV-1は紫外線への過剰露出のリスクを最小限に抑え、有害な発煙の影響を最小限に抑えながら、正確で正確な結果を生成するために使用されるUVエッチングおよびアッシングシステムです。このユニットは、正確で再現性のある結果を提供しながら、安全で使いやすいように設計されています。