中古 SAMCO RIE-330iPC #9412283 を販売中

SAMCO RIE-330iPCは、高性能と信頼性で有名な業界最先端のエッチング/アッシングシステムの1つです。このエッチャー/アッシャーは、2.5µm/minの領域にわたって2.5µmの優れたエッチング精度を維持しながら、他のエッチングシステムの約20倍の速さである100x100mm²までのエッチング速度を達成することができます。RIE-330iPCは精密4軸デカルト式ロボットアームと3段インテリジェントな圧力制御装置を備えています。最先端のディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）プロセスを利用し、Si、 SiO2、 CNx、 Al、ポリマーなどの有機材料、セラミックおよび無機材料の切断およびエッチングに非常に適しています。また、高度なオートフォーカス、統合ウェーハ処理ユニット、マルチガスおよびマルチプレッシャー選択およびアルゴリズム、および微細および薄膜パターニングを検査するための強力なデジタル光学顕微鏡など、幅広いオプション機能を提供します。SAMCO RIE-330iPCはクリーンルーム対応ハウジングを誇り、高級真空ポンプなど幅広い部品を取り揃えており、汎用性の高いエッチング機です。また、リアルタイムプロセスモニタリングツールを搭載しており、エッチング中のプロセスを調整して最適な結果を得ることができます。このアセットは、コンピュータ制御ソフトウェアスイートでも利用でき、エッチングプロセスのセットアップと管理が容易になります。RIE-330iPCは、最大8000ウェハ/時間の動作も可能で、ウェハの回転サイクルタイムはわずか4分です。これにより、大量の高速生産ラインに最適なエッチングモデルとなります。また、タッチパネルのユーザーインターフェイスが内蔵されており、（ISO 7952）エッチングレシピの包括的なライブラリが付属しているため、非常にユーザーフレンドリーなシステムです。結論として、SAMCO RIE-330iPCは、多くの業界にとって理想的なエッチングおよびアッシングソリューションであり、コンパクトでユーザーフレンドリーなパッケージで強力で信頼性の高いエッチングユニットを提供します。超高速エッチング率、高精度、完全なウェーハ回転により、大量の処理アプリケーションに最適です。