中古 SAMCO RIE-300NR #9402475 を販売中
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SAMCO RIE-300NRは、石英、シリコン、セラミックス、金属、ポリマーなど多種多様な基板をエッチングするために設計された信頼性の高い反応イオンエッチャー（RIE）です。それは優秀なプロセス安定性、反復性および均等性を提供します。SAMCO RIE 300 NRは、さまざまな材料で0。2umまで機能をエッチングすることができます。これにより、マイクロエレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、MEMSなどの精密エッチング用途に適しています。RIE-300NRは、小さなフットプリント、低コストのコンソールを備えており、大規模なプラットフォームでサポートされています。これには、ハイスループットバレル、ウェーブガイドチャンバー、リニアセルなど、さまざまなタイプのセルを持つ最大5つのプロセスチャンバーが含まれます。また、高温動作、圧力/フロー制御、自動化されたプロセスシーケンシング、幅広い冷却/パージングオプションなど、多くの高度な機能を備えています。RIE 300 NRはまた、ハイエンドのプロセス監視、独自のユーザーフレンドリーなタッチスクリーンのコントロールパネルとソフトウェア、プログラム可能なレシピとレシピの共有、Webブラウザインターフェイス、高度なプロセスシーケンサーなど、多くの高度な機能を提供しています。これにより、ユーザーは自分のニーズに合わせてマシンを構成し、信頼性が高く、繰り返し可能で、一貫したエッチングのシナリオを確実にすることができます。SAMCO RIE-300NRは幅広いプロセスガスを備えており、柔軟性と最適化されたプロセス制御を提供します。Cl2、 O2、 Ar、 BCl3、 N2、 SF6などのガスは、エッチング結果を最適化するために、さまざまなフローと圧力設定で使用できます。ガス供給システムは、最小限のダウンタイムで最高の精度と制御を保証することができます。SAMCO RIE 300 NRは、薄膜エッチング時の破壊電圧を低減するために使用することができるオプションの真空ポンプでも利用できます。これにより、薄膜用途に適しており、信頼性と再現性の高いエッチング結果を保証します。RIE-300NRは、半導体、セラミックス、ガラス、ポリマーなど、さまざまな材料のエッチング用途に最適なツールです。それは優秀なプロセス制御、信頼できる操作および顕著な反復性を提供し精密研究および工学適用にとって理想的です。
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