中古 SAMCO RIE-300NR #9249082 を販売中

SAMCO RIE-300NRは、高性能で反応性の高いイオンエッチャー（RIE）です。この高度なエッチングおよびアッシングツールは、密閉された密閉されたエンクロージャに配置され、シリコン、ヒ素ガリウム、アルミニウムなどの材料を最大0。1ミクロンの精度で正確にパターン化するように設計されています。また、フッ化水素酸蒸気洗浄装置、自動圧力制御システム、およびダウンタイムを短縮するドライランニングバイパスモードを備えています。SAMCO RIE 300 NRは、エッチングとアッシングの両方を1つのユニットに組み合わせることで、両方の世界の最高のものを提供します。直径10インチまでの基板に対応可能な大型チャンバーサイズを特長としています。RIE-300NRにまた異なったプロジェクトの条件に合うさまざまな部屋およびウェーハの保持構成があります。高純度のPoly-Freonガスデリバリーマシンは、幅広いプロセスで高いスループットと一貫したエッチング率を維持するのに役立ちます。RIE 300 NRは、高度なプラズマ制御システムと楕円計の機能により、小型で複雑な機能を製造するのに理想的な選択肢です。SAMCO RIE-300NRは、現場でのエンドポイント検出、無線周波数発生器、および容量結合チャンバーの助けを借りて、幅広いプロセスパラメータを達成するのに役立ちます。さらに、SAMCO RIE 300 NRの内蔵排気ポートにより、プラズマやコリオリの力を排出することなく、チャンバー内で不均衡な処理を実行することができます。RIE-300NRはフォトマスクの修理およびウェーハの裏側のエッチングのクリーニングの塗布のための理想的な選択です。この高度なエッチャーとアッシャーは、シリコン、ヒ素ガリウム、アルミニウムなど、あらゆる種類の材料を処理するのに最適です。また、最大0。1ミクロンの精度で斜め角度とアンダーカットプロファイルをエッチングすることができます。RIE 300 NRは、自動化された圧力制御ツールとドライランニングバイパスモードにより最高レベルのパフォーマンスを提供し、ダウンタイムを短縮します。