中古 SAMCO RIE-300NR #9236887 を販売中

SAMCO RIE-300NR etcher/asherは、ガラス、ステンレス、軟金属、プラスチックなど様々な素材のエッチング/アッシング用に設計された高性能エッチング/アッシング・システムです。SAMCO RIE 300 NRは、デュアルチャンバー設計で設計されているため、エッチングとアッシングプロセスの両方に使用できます。上部のチャンバーにはエッチング用の電極が、下部のチャンバーにはアッシング用のヒーターが収納されています。エッチングチャンバーは、エッチングパラメータを正確に制御するための誘電断熱材と、エッチングプロセスを清潔に保つための真空システムを備えています。アッシングヒーターチャンバーは、450°Cまでの温度範囲があり、正確で反復可能な結果を提供します。RIE-300NRはまた、簡単な操作と監視のための完全なタッチスクリーンユーザーインターフェイスを備えており、ユーザーは後で使用するためのレシピとパラメータを作成して保存することができます。また、このインターフェースは複数の安全機能を備えており、エッチング処理中にオペレータが危険な材料にさらされないようにします。RIE 300 NRのエッチングの均一性と速度も印象的で、+/-0.5µmの再現可能な均一性を備え、1時間あたり最大300ウェーハの生産速度を提供します。また、オプションのVDE-8誘電性HVエッチングチャンバーを使用して、エッチング/アッシュ可能な材料タイプとサイズの範囲を拡張することもできます。最後に、SAMCO RIE-300NRは多くの計測システムとも互換性があり、ユーザーはウェーハ上で高速で正確な測定データを得ることができます。これにより、ユーザーはレシピをすばやく調整し、一貫した品質の部品を一貫して製造することができます。全体として、SAMCO RIE 300 NRは強力で信頼性の高いエッチャー/アッシャーであり、高い生産速度と正確な均一性を備えたさまざまな材料に完全なエッチングソリューションを提供します。その操作の容易さと計測システムとの互換性は、製造または研究に焦点を当てたラボに最適なソリューションです。