中古 SAMCO RIE-300NR #9234636 を販売中

SAMCO RIE-300NRは、集積回路（IC）製造、マイクロエレクトロニクスおよび関連アプリケーションで使用するために設計されたエッチングおよびアッシング装置です。このシステムは、さまざまな基板の信頼性と精密な化学エッチングとアッシングを提供します。SAMCO RIE 300 NRは、カセットスタイルのエッチングおよびアッシングチャンバーに4〜12インチ（100mm〜300mm）のウェーハを収容できます。これは、RIE-300NRのフローティングステージと自動バルブ制御の組み合わせによって促進されます。チャンバー環境は、ガスの流れを正確に調整するために特別に設計された内蔵の流量計ユニットによって制御されます。RIE 300 NRは、幅広いエッチングおよびアッシング条件に対応できます。これは、CF4、 SF6、 NF3、 CDA、および酸素などのガスを使用して、アルミニウム、タングステン、ポリシリコン、石英およびその他の半導体材料のエッチングとアッシングのためにテストされています。この機械は、最大660°Cの高温、および-100°Cのサブゼロ温度での動作を想定して設計されています。これは、液体窒素を介してツールの内蔵冷却機能によって促進されます。SAMCO RIE-300NRは、エッチング/アッシングの最適な制御を保証するために設計された高度なソフトウェア制御資産を備えています。これにより、モデルに統合された自動レシピ制御が可能になり、より効率的で正確なエッチングとアッシングプロセスが可能になります。この高度なソフトウェア制御装置により、プログラム可能なシャッターは清潔度の基準を満たすことができます。さらに、SAMCO RIE 300 NRは、真空ポンプとベントシステムを内蔵し、クリーンなプロセス室内雰囲気を確保するように設計されています。このユニットは、伝えられるところでは10-6 Torr以下の真空レベルを達成することができます。これにより、汚染のない継続的な操作が保証されます。機械は産業等級の部品を使用して組み立てられ、実験室の設定のエッチングおよびashingプロセスの厳密な条件を扱うように設計されています。RIE-300NRにまたユーザーおよび環境を安全に保つように設計されている監視された安全機能の広い範囲があります。RIE 300 NRエッチングおよびアッシングツールは、集積回路生産のための信頼性の高い正確なエッチングおよびアッシングソリューションです。幅広いエッチングおよびアッシング条件の処理に長けており、ソフトウェアの自動制御と10-6 Torrの真空レベルを提供しています。工業グレードのコンポーネントと安全機能を備えたSAMCO RIE-300NRは、ラボアプリケーションに信頼性と安全性の高いエッチングとアッシングソリューションを提供します。