中古 SAMCO RIE-300NR #293597183 を販売中
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SAMCO RIE-300NRは、電子デバイス製造におけるアプリケーション用に設計された反応イオンエッチャーおよびアッシャーです。効率的なリアクティブイオンエッチング（RIE）とアッシングプロセスを利用した業界グレードのマシンです。このプロセスは、エネルギー中性粒子、イオン爆撃およびプラズマの発光放電を組み合わせて、基板表面からの材料の制御除去を可能にします。SAMCO RIE 300 NRの特徴は、5 torrの真空と0-10,000 sccmガス供給だけでなく、0-1200Vの調整可能な電圧範囲と0-400W電源です。チャンバーサイズは300x300mmで、自動/手動機能、石英窓、E ショットRF発電機、冷却プラテンを備えており、広範なプロセスでのサンプル冷却に最適です。このシステムは、エッチングの深さと画像パターンを正確に制御できるように、精密なエッチング速度を実現するように設計されています。その自動エッチストップシステムは、フッ素化ガス、酸素、窒素、アルゴンなど20種類以上のガスと組み合わせることができ、幅広い用途に適しています。さらに、精密なフィラメント制御により、プラスチック、金属、合金からセラミックス、絶縁体まで、さまざまな材料を正確にエッチングできます。効率的であることは別として、この機械にまた低い維持の設計があります。その便利なフロントパネル操作とリモートコントローラは、直感的で使いやすい操作を提供します。また、過剰なガス圧や電気的な妨害から安全を保証する統合された安全メカニズムを備えています。全体として、RIE-300NRは電子機器の製造のための信頼性が高く、高性能エッチャーとアッシャーです。精密なエッチング速度と幅広いガスにより、さまざまな製造プロセスのニーズに対応できます。さらに、堅牢な設計と低メンテナンス特性により、さまざまな条件や環境で作業することができます。
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