中古 SAMCO RIE-212iPC #9036931 を販売中

SAMCO RIE-212iPCドライエッチャーは、さまざまな材料に幅広いエッチング用途を容易にする高性能ツールです。その幅広い機能は、クリーニング、機能の作成、広い領域のエッチングなど、多くの用途に最適なツールです。SAMCO RIE 212 IPCは、チャンバーサイズが6000 cm³で、最大500ºCの温度に達することができます。高精度ヒーターと密閉ループ温度制御装置を備えており、プラズマ源の温度を正確に制御することができます。RIE-212iPCには、さまざまな圧力コントローラとガス供給システムが装備されています。それはさまざまな圧力で使用することができ、さまざまなプロセスガスを使用することができます。RIE 212 IPCには高圧、高流量のターボ分子ポンプがあり、一貫した再現性、信頼性の高いエッチングと高スループットを保証します。SAMCO RIE-212iPCには3つのデュアルソースプラズマソースモジュールがあり、特定のエッチングアプリケーションに最適なものを選択できます。チャンバー壁、ドアシール、チャンバー部品の損傷を防止する衝突防止システムを備えています。SAMCO RIE 212 IPCは、直感的な制御インターフェイス、自動プラズマ反動、サンプルの積み下ろしとアンロードのための十分なスペースなど、使いやすいように設計されたさまざまな機能を備えています。洗練されたPCベースのコントロールユニットに接続されており、操作やリモートアクセスが容易です。RIE-212iPCは、高品質のエッチング結果を得るために200Wで最大13.56MHzを提供できる高効率のRFパワーマシンを備えています。また、高度な自動チューニングツールを備えており、エッチングプロセスパラメータを迅速に設定できます。要するに、RIE 212 IPCドライエッチャーは、幅広い材料のエッチングに理想的な機械です。高精度の温度制御アセットにより、ガス使用量を最小限に抑えた正確なエッチング結果が得られます。圧力、プロセスガス、ソースモジュールの範囲は、あらゆるアプリケーションに最適なセットアップを柔軟に見つけることができます。直感的なユーザーインターフェイスと高効率RFパワーモデルにより、エッチング用途に最適です。