中古 SAMCO RIE-212iPC #293798662 を販売中

SAMCO RIE-212iPCは、半導体ウェーハ、PCボード、特殊基板のドライエッチング、クリーニング、ディープエッチングなどの産業プロセス向けに設計されたエッチャーおよびアッシャーです。ハイアスペクト比エッチング、クリティカルな寸法制御、および正確なレイヤー転送を含むプロセスに最適です。最大500nmの精度で、幅広い用途に必要な均一性と精度を提供します。SAMCO RIE 212 IPCは、コンパクトな設置面積と費用対効果の高い設計を提供し、小規模環境と大規模な生産環境の両方に適しています。そのユーザーフレンドリーなデザインは、直感的なタッチスクリーンのコントロールパネルを備えており、迅速なセットアップとプログラミングを可能にします。さらに、高度な2800W電源を搭載し、標準パージング制御とオプションの急速パージを備えた2つのガス入口を含むガス供給装置を備えています。これにより、最も重要なプロセスガスとの互換性が保証されます。RIE-212iPCには、ローターレスと従来のドライエッチング設計が採用されており、エッチング時間の短縮や、小・大面積の微細なパターン化が可能です。これは、最適な基板スループットとプロセスの一貫性を確保するためのデジタルプロセスモニタリングシステムを備えています。さらに、エンドポイント検出ユニットを自動化することで、正確なエッチング速度と再現性のある結果を得ることができます。RIE 212 IPCは、排ガス処理機や真空インターロック装置などの安全性と環境機能を備えています。これにより、ユーザーの安全性が確保され、環境負荷の低減にも役立ちます。さらに、ユニバーサル電源入力により、あらゆる生産ラインに容易に統合できます。全体的に、SAMCO RIE-212iPCは、幅広いプロセス要件のニーズを満たすように設計された高度なエッチャーおよびアッシャーです。精密で一貫性のあるエッチング率、再現性のある結果、多くの安全性と環境機能を備えているため、さまざまな産業ニーズに最適です。